JEM-1400常规操作2.pptVIP

TEM基本操作 TEM 照明系统合轴(STD Focus下） 1-5合轴 CL APT对中 CL消像散 Tilt联动比 Shift联动比 1-5合轴 Spot为1时，GUN SHIFT调光到中心 spot为5时，Beam shift移光到中心 反复进行以上步骤，直到在改变spot size，光斑均在中心位置。 CL APT对中 Brightness汇聚电子束成一点，beam shift移光到中心 顺时针散开Brightness至荧光屏大小 调节光阑的机械旋钮，使光斑和荧光屏相切即可 CL 消像散 旋转brightness，找到束斑汇聚点 左右旋转Brightness，看束斑是否为椭圆形 如果束斑为椭圆形，选择COND STIG，DEF X/Y将束斑调圆即可。 TILT联动比调整 功能：聚光镜线圈倾斜时平移不变 1)放大倍数设置在40K 2)STD FOCUS下，拧brightness 缩小电子束 3) 在Maintenance及Alignment菜单下Wobbler的TiltX,开始做X方向调整 4)按下TILT按钮（点击在Maintenance及Alignment菜单下Compensator的Tilt），如果出现电子束平行错位，调整面板上的DEF(X) ，使两个电子束调成一个电子束，当两个电子束错位分开，Compensator的Angle,调整面板上的DEF(X) 5)X方向调好后，把拨钮放在Y方向，调整方法与X一致 两者都调整好后，关闭TILT。 Shift联动比调整 功能：聚光镜线圈平移时倾斜不变 1)放大倍数设置在40K 2)STD FOCUS下，拧brightness顺时针最大，切换到DIFF模式 3) 在Maintenance及Alignment菜单下Wobbler的shift X,开始做X方向调整 4)按下shift按钮（点击在Maintenance及Alignment菜单下Compensator的shift），如果出现衍射束平行错位，调整面板上的DEF(X) ，使两个电子束调成一个电子束，当两个电子束错位分开，Compensator的Angle,调整面板上的DEF(X) 5)X方向调好后，选择SHIFT Y，调整方法与X一致 两者都调整好后，关闭SHIFT。 成像系统合轴 Z轴高度调整 电压中心调整 物镜光阑对中 OL消像散 中间镜消像散 投影镜合轴 聚焦、拍照 Z轴高度调整 选择合适的放大倍数 STD Focus下，brightness汇聚电子束，看到衍射晕环 调节Z高使晕环聚到一点 Mag到100K以上，顺时针散开Brightness，按下Image wobble X，继续细调Z轴高度使图像衬度最小。 电压中心调整 1)放大倍数放在100K以上，最好是在拍照时所使用的放大倍数下 2)找到目标物，移动目标物到荧光屏中心，同时电子束也移到荧光屏中心，电子束散开（略小于荧光屏） 3)按下HT wobbler，再按下Bright Tilt，调整DEF（X,Y），使目标物与中心黑点位置相对应，不摇摆（或电子束与荧光屏中心黑点为同心圆收缩） 4)调整完毕后，关闭按钮 物镜光阑对中 1)在MAG模式下，电子束稍大于荧光屏 2)切换到DIFF模式下，插入物镜光阑 3)调整DIFF Focus，使物镜光阑清楚（如果衍射斑太大，调整Brightness） 4)调整物镜光阑X,Y，使物镜光栏套住中心束斑。 5)切换到MAG模式 物镜消像散调整 1)放大倍数放置在400K以上 2)找到一个麻点位置（非晶膜） 3)调整OBJ（focus）旋钮，看清非晶膜（包含过焦、欠焦、正焦三种状态，欠焦和过焦都有方向性，两者方向相反，正焦位置衬度差，此时说明有像散） 4)按下OBJ Tilt，移动DEF（X,Y），进行消像散，使图一片均匀，在正焦下看起来似乎什么都没有，但欠焦和过焦图像应该很清楚（可参照无像散非晶膜衬度图）。 5) 然后用OBJ（focus）观察非晶膜过焦与欠焦状态的麻点都没有方向性，且过焦与欠焦的图像只有衬度变化，麻点的形状应一致，说明已调好 无像散时非晶膜的衬度 中间镜消像散 1)在衍射（DIFF）模式下，中心束斑出现椭圆，按下INT（R2面板）（2100系列在Dialogue下选Operation的Standard点击Stigmator下的IL） 2)调整DEF（X,Y），使其变成圆，原则使透射束明锐，（使用DIFF（focus）使电子衍射花样调到过聚焦和欠聚焦一侧时更好判断）。 投影镜合轴 原因：在DIFF模式下，中心束斑不再荧光屏中心。 按下面板上的PROJ，调整DEF（X,Y），使中心束斑调到荧光屏中心 聚焦、拍照 使用CCD软件中的Live FFT功能，调节Focus电压使傅立叶变