微纳通道中气体流量的实验测量要点.docxVIP

微纳通道中气体流量的实验测量赵永恒 2014110282摘要：微纳通道是微机电系统的重要组成部分，对于它的研究也是目前的一个重要领域。由于尺寸的微小化需要采用稀薄气体动力学的方法对气体在管道内的流动情况进行研究。研究的方法主要包括计算法和实验法。本文主要讨论的是采用实验法中的定容法来测量稀薄气体在微纳通道中流动时的流量。关键词：微机电系统微纳通道稀薄气体动力学定容法Flow measurement of the rarefied gas flow in the micro-nano channelAbstract：Micro-nano channel is an important part of MEMS and the research for it is one of the focuses of current research.Due to the size of the tiny change, we need adopt the method of rarefied gas dynamics to study the gas flow in the pipe condition.Research methods mainly include the calculation method and experimental method.This paper mainly discusses the experimental method of constant volume method is adopted to measure the rarefied gas flow in the micro-nano channel flow.keywords：MEMS micro-nano channel RGD Constant Volume Method一：绪论：微机电系统（MEMS）在20世纪兴起，并在21世纪取得了巨大的发展，目前已经成为了一门快速发展的高科技前沿领域。微纳通道时微机电系统中的一个重要组成部分，是联接微机电系统中各部分的纽带。随着微机电系统的研究和开发，微器件及其中的微纳通道的尺寸进一步的缩小。此时，经典的宏观流体动力学已经不再适用于微纳通道内气体的流动分析了，而应采用稀薄气体动力学（RGD）。气体在微纳通道内的流动与宏观流动相比具有其独特性，分析和探讨其流动规律对微机电系统的发展和应用具有重要的意义。研究稀薄气体在微纳通道中的流动情况，一般有两种方法：计算法和实验法。稀薄气体流动所遵循的基本方程为玻尔兹曼方程，计算法的目的是要通过解玻尔兹曼方程或由其简化而来的模型方程而得出稀薄气体流动时的速度分布函数f（v），通过对f（v）的积分而求得气体流动时的宏观物理量，如流量等。实验法主要是通过一些实验平台来测量稀薄气体在微尺度通道内流动时的一些宏观物理量。目前，使用计算的方法来对稀薄气体在微纳通道内的流动情况进行研究已经相当的成熟，已经获得了稀薄气体在不同流态、不同管道内的流动数据。与计算法相比，通过实验的方法测量稀薄气体在微纳通道内流动时数据的研究相对较少，所研究的管道类型只有圆管和方管，而且所测量的Kn数的范围有限。本文主要研究了通过实验方法中的定容法来测量稀薄气体在微尺度通道内流动时的流量，并将所获得的结果与实验法所获得的结果进行比较，以此来确定实验结果的准确性以及实验方法的改进。二：研究方法：实验所要研究的主要是稀薄气体在微纳通道内等温、定常流动时的问题，所求解的主要物理量是流量和流导。根据测量原理的不同，实验法可以分为两大类——直接测量法和间接测量法。直接测量法就是使用流量计或高精度流量传感器来直接测量流量，其优点是方便简单，缺点是测量范围有限，一般测量下限只能达到kg/s。间接测量法是通过测量压强等物理量的变化来求得流量，可以实现小流量的测量，测量下限可达kg/s。它也是目前研究稀薄气体在微纳通道内流动情况的基本方法。本文所要介绍的是间接测量法中最常用的定容法。2.1：实验装置定容法的基本原理是测量过程中保持两侧真空室的容积不变，通过管道的气流引起了测量真空室中压强的微小变化，通过测量这一变化，即可求出流量。其实验装置如图1所示。从图1中可以看出，实验装置主要有测量真空室、参考真空室、待测管道、储气罐、真空泵、真空管道以及阀门等部分组成。待测管道一般为圆管或方管，在进行测量之前必须对管道的尺寸进行精确的测量。真空泵以及阀门可以使测量真空室和参考真空室达到一定的压强，从而是气体在管道中处于不同的流态，需要注意的是在测量过程中参考真空室和测量真空室压强比需保持不变，一般取5。参考真空室和测量真空室由待测管道所连接，试验时通过测量测量真空室内的压强变化来求出待测管道内的流量。储气罐的主要