介质阻挡放电激发XeI准分子紫外光源的实验研究.docVIP

介质阻挡放电激发XeI*准分子紫外光源的实验研究 李朝阳，陈强，代立新，林辉创 北京印刷学院北京102600 摘要：采用石英做介质阻挡层，对高气压XeI*准分子紫外光源进行了实验研究，从放电功率、放电频率、总气压、气体配比等参数分析了光源的工作特性，其最佳工作参数为总气压320Torr、I2分压0.37%，电源频率58.7kHz。在此条件下当放电电压4.6kV、功率66W时，在距光源8.5cm处得到的紫外光辐射强度为31.2(W/cm2，结合石英管结构参数和放电条件，经计算获得的光源转化效率为2.2%。 关键词:介质阻挡放电，准分子光源，XeI，转化效率 中图分类号：O53 文献标识码：A The experimental study on XeI* excimer UV light source stimulated by dielectric barrier discharge Li Chaoyang, Chen Qiang ,Dai Lixin, Lin Huichuang Plasma physics and material laboratory, Beijing Institute of Graphic Communication, Beijing, 102600 Abstract: An experimental study on XeI* excimer UV lamp stimulated by dielectric barrier discharge (DBD) was investigated. By using quartz as dielectric barrier layer, the working parameters of this lamp were analyzed from the applied power, discharge frequency, total pressure and the ratio of mixture gases. The optimum condition came with total pressure 320Torr, 0.37% iodine ratio and 58.7kHz’s frequency. Under the applied voltage 4.6kV, power66W, an UV radiation intensity of 31.2(W/cm2 was obtained at the distance of 8.5cm from the quartz tube. Combining the configuration and injected power, we calculated the conversion efficiency of the lamp that was 2.2%. Key words: DBD，excimer light source, XeI, conversion efficiency 1、引言 近年来大面积长寿命高效紫外光源的研究得到了人们的广泛关注，新型紫外光源的开发有望在环保、能源、光固化、医疗杀菌、照明等方面获得重要应用，其中介质阻挡放电（DBD）激发准分子光源有着光谱单色性好，紫外发光效率高，容易实现大面积辐射，通过调整放电气体配比和种类可获得特定波长的光辐射，光源寿命长等诸多优点[1-3]，国内外近来对此方面的研究报道逐年增多，研究重点主要是探索准分子的激发机制，拓展辐射波长至真空紫外波段，针对光源稳定性、转换效率和寿命的相关研究[4，5]。国内对DBD放电光谱分析和材料改性方面的研究很多，但DBD准分子光源的研究还开展较少，同国外有一定的差距。 本文利用kHz低温等离子体电源采用双层石英做介质阻挡层对XeI准分子光源进行了实验研究，获得了XeI准分子光源的辐射光谱，从放电功率、放电频率、总气压、气体配比等参数对XeI准分子光源的辐射效率和发光强度进行了分析。采用紫外光辐照计测量了XeI准分子光源的照度，结合光源具体结构参数和放电条件，得出光源的转化效率为2.2%，并提出了提高光源的稳定性和转换效率的途径和方法。XeI准分子光源的特征辐射主峰波长在253nm，与低压汞灯的原子线辐射峰254nm非常接近，是取代低压汞灯的最佳选择之一，是一种完全满足绿色环保要求的光源。本工作也对准分子光源的发光机理研究有一定的意义。 2、实验 图1是本实验的装置示意图，整个系统由四部分组成，即真空配气系统、石英管放电系统、电源激励系统及功率和光谱测量系统。实验真空系统采用一台韩国优成3升机械泵抽气，本底真空为2Pa。由于氙气较贵，在实验准备过程中，首先用He对石英放电管进行清洗。进气量由质量流量计控制。