货物清单和技术参数.doc

重点实验室所需设备购置计划表 （预算268万元） 序号 设备名称 拟购数 单价（元） 金额小计（元） 技术参数 1 场发射扫描电子显微镜 1套 2680000 2680000 一、 运行环境： 1.1、房间温度：18～22℃； 1.2、相对湿度：小于65%； 1.3、适用电源：单相，220V±10%，50/60Hz，6kVA，要求连续供电； 1.4、地线：仪器要求的接地电阻值不大于1Ω； 二、设备用途：用于空间组织结构、成分分布、微观样品的形貌及样品的元素分析； 三、技术规格 3.1、组成：主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统)，自动变压器，冷却循环水系统，计算机，标准工具及附件； 3.1.1 扫描电镜电子光路采用无交叉的设计 3.2、电子枪：肖特基热场发射电子枪，最大束流不低于20nA； ★3.3、分辨率：二次电子像：不低于1.2 nm / 15kV；不低于2.2nm /1kV，非减速模式，在低电压观察模式下样品台可以倾斜； ★3.4、加速电压：加速电压：0.02kV～30 kV，步进≤10V，连续可调，无需模式更换； 3.5、束流稳定性：优于0.2%；可在设备电流参数中上进行查看监测；抗噪声性能优于1%/h； 3.5.1镜筒有无磁设计，能够保证铁磁材料的成像，可对铁磁性材料进行高分辨成像, 镜筒具有减震系统和自动水平系统样品观察点导航功能。 ★3.6、放大倍率：10-1,000,000倍, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需模式更换； ★3.7、五轴马达驱动样品台移动范围： 125mm≤X，125mm≤Y，50mm≤Z，T=-10°～+90°（倾斜），R=360°（旋转）； ★3.8、样品室：宽度或者内部直径不小于365mm，高度不小于270mm； 3.9、抽屉式拉门，最大样品尺寸：≥200mm (直径)； 3.10、扫描电镜操作软件：配合扫描电镜的基本操作软件； 3.10.1双放大系统：在观察区域同时进行再放大可同时观测，帮助聚焦，调节图像； 3.10.2鱼眼模式：可以通过大视野对于样品进行查看，有助于样品室样品的观测和寻找； 3.11、真空系统：全无油真空系统 3.11.1样品室真空度：高真空模式优于2×10- 4 Pa；电子枪真空度：10-9Pa数量级； 3.11.2 无油磁悬浮涡轮分子泵和离子泵； 3.11.3 前级机械泵； 3.11.4自动抽真空：完全气动阀自动控制；真空表：潘宁规?1，皮拉尼规?2； 3.12、探测器： ★3.12.1配置镜筒内环形二次电子探测器，位于光路正光轴上，电子光路穿过环形探测器中心，探测器不能位于光路一侧； 3.12.2样品室内二次电子探测器ETSE； 3.12.3样品室IR-CCD相机； 3.12.4高灵敏度5象限背散射电子探测器； 3.12.5二次电子像或纯的被散射电子像或两种信号的任意比例混合像； 3.13、操作系统： 3.13.1断水、断电和真空状态不良下的自动保护； 3.13.2操作方式：控制样品台的控制器，采用键盘与旋钮控制面板集成的操作面板和双轴摇杆台及鼠标； 3.13.3可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿； 3.13.4 具有双通道功能，屏幕显示不同探测器拍摄的图像； 3.13.5 具有样品台图像导航功能； 3.13.6 具有断水、断电和真空状态不良下的自动保护； 3.14附件接口： 3.14.1 配备能谱仪(EDS)接接口； 3.14.2 配备IR-CCD相机接口； 3.14.3样品室提供包括二次电子探测器、背散射电子探测器、X射线能谱仪（EDS）、背散射电子衍射（EBSD）系统、红外CCD照相机、波谱仪（WDS）等不少于六个附件接口，且二次电子探测器、EDS和EBSD接口分布应有利于多种手段的原位综合分析的最优化设计； 3.15、显示器：≥24寸，显示器分辨率≥1920x1200 3.16、能谱仪（EDS）技术参数： ★3.16.1 电制冷探头，活区面积不小20mm2；扫描电镜配置的能谱仪器分析工作距离小于9.0mm； ★3.16.2 分辨率优于127eV； 3.16.3 谱峰漂移小于1eV； 3.16.4 分析元素范围：Be4-Pu94 3.16.5 场效应管； 3.17软件： 3.17.1 点、线和面的多元素同步分析，即可以在某一点（或线，或面）上同时检测和分析多个不同的元素； 3.17.2 定性定量分析导航器；元素面分布分析导航器；电子束任意定位分析导航器；上述三个导航器涵盖点、线、面分析； 3.17.3从Be-Pu的所有元素的完整的能谱数据库； 3.17.4自动多点分析；没有数目限制的元素面分布图；没有数目限制的至少四套以上的多套能谱的自动迭加比较； 3.17.5重叠峰剥离