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货物清单和技术参数
重点实验室所需设备购置计划表
(预算268万元)
序号
设备名称
拟购数
单价(元)
金额小计(元)
技术参数
1
场发射扫描电子显微镜
1套
2680000
2680000
一、 运行环境:
1.1、房间温度:18~22℃;
1.2、相对湿度:小于65%;
1.3、适用电源:单相,220V±10%,50/60Hz,6kVA,要求连续供电;
1.4、地线:仪器要求的接地电阻值不大于1Ω;
二、设备用途:用于空间组织结构、成分分布、微观样品的形貌及样品的元素分析;
三、技术规格
3.1、组成:主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统),自动变压器,冷却循环水系统,计算机,标准工具及附件;
3.1.1 扫描电镜电子光路采用无交叉的设计
3.2、电子枪:肖特基热场发射电子枪,最大束流不低于20nA;
★3.3、分辨率:二次电子像:不低于1.2 nm / 15kV;不低于2.2nm /1kV,非减速模式,在低电压观察模式下样品台可以倾斜;
★3.4、加速电压:加速电压:0.02kV~30 kV,步进≤10V,连续可调,无需模式更换;
3.5、束流稳定性:优于0.2%;可在设备电流参数中上进行查看监测;抗噪声性能优于1%/h;
3.5.1镜筒有无磁设计,能够保证铁磁材料的成像,可对铁磁性材料进行高分辨成像, 镜筒具有减震系统和自动水平系统样品观察点导航功能。
★3.6、放大倍率:10-1,000,000倍, 根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准,低倍率与高倍率无需模式更换;
★3.7、五轴马达驱动样品台移动范围:
125mm≤X,125mm≤Y,50mm≤Z,T=-10°~+90°(倾斜),R=360°(旋转);
★3.8、样品室:宽度或者内部直径不小于365mm,高度不小于270mm;
3.9、抽屉式拉门,最大样品尺寸:≥200mm (直径);
3.10、扫描电镜操作软件:配合扫描电镜的基本操作软件;
3.10.1双放大系统:在观察区域同时进行再放大可同时观测,帮助聚焦,调节图像;
3.10.2鱼眼模式:可以通过大视野对于样品进行查看,有助于样品室样品的观测和寻找;
3.11、真空系统:全无油真空系统
3.11.1样品室真空度:高真空模式优于2×10- 4 Pa;电子枪真空度:10-9Pa数量级;
3.11.2 无油磁悬浮涡轮分子泵和离子泵;
3.11.3 前级机械泵;
3.11.4自动抽真空:完全气动阀自动控制;真空表:潘宁规?1,皮拉尼规?2;
3.12、探测器:
★3.12.1配置镜筒内环形二次电子探测器,位于光路正光轴上,电子光路穿过环形探测器中心,探测器不能位于光路一侧;
3.12.2样品室内二次电子探测器ETSE;
3.12.3样品室IR-CCD相机;
3.12.4高灵敏度5象限背散射电子探测器;
3.12.5二次电子像或纯的被散射电子像或两种信号的任意比例混合像;
3.13、操作系统:
3.13.1断水、断电和真空状态不良下的自动保护;
3.13.2操作方式:控制样品台的控制器,采用键盘与旋钮控制面板集成的操作面板和双轴摇杆台及鼠标;
3.13.3可自动调节:电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿;
3.13.4 具有双通道功能,屏幕显示不同探测器拍摄的图像;
3.13.5 具有样品台图像导航功能;
3.13.6 具有断水、断电和真空状态不良下的自动保护;
3.14附件接口:
3.14.1 配备能谱仪(EDS)接接口;
3.14.2 配备IR-CCD相机接口;
3.14.3样品室提供包括二次电子探测器、背散射电子探测器、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射(EBSD)系统、红外CCD照相机、波谱仪(WDS)等不少于六个附件接口,且二次电子探测器、EDS和EBSD接口分布应有利于多种手段的原位综合分析的最优化设计;
3.15、显示器:≥24寸,显示器分辨率≥1920x1200
3.16、能谱仪(EDS)技术参数:
★3.16.1 电制冷探头,活区面积不小20mm2;扫描电镜配置的能谱仪器分析工作距离小于9.0mm;
★3.16.2 分辨率优于127eV;
3.16.3 谱峰漂移小于1eV;
3.16.4 分析元素范围:Be4-Pu94
3.16.5 场效应管;
3.17软件:
3.17.1 点、线和面的多元素同步分析,即可以在某一点(或线,或面)上同时检测和分析多个不同的元素;
3.17.2 定性定量分析导航器;元素面分布分析导航器;电子束任意定位分析导航器;上述三个导航器涵盖点、线、面分析;
3.17.3从Be-Pu的所有元素的完整的能谱数据库;
3.17.4自动多点分析;没有数目限制的元素面分布图;没有数目限制的至少四套以上的多套能谱的自动迭加比较;
3.17.5重叠峰剥离
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