真空的获得与测量.ppt

实验十 真空的获得与测量及真空蒸发镀膜 近代物理实验 郑州大学物理实验中心 实验原理 真空的获得－真空泵 机械泵：利用机械旋转造成吸气和排气获得真空 真空的获得与测量 极限真空约10－1Pa 旋片式真空泵工作原理图 油扩散泵：利用气体的扩散性质制作的，比机械泵能获得更高真空度，工作压力范围 10－1～10－6Pa 扩散泵原理图 真空的测量 热电偶真空计： 利用气体分子的热传导性质，通过热电偶产生的电动势来测量真空，测量真空范围10～10－1Pa 热阴极电离真空计 由电离规管和测量电路组成，电离规管由阴极（灯丝）、栅极和板极（收集极）组成，普通电离真空计的测量范围是10－1～10－6Pa 实验装置 实验内容与步骤 内容 分别作出机械泵、扩散泵对钟 罩抽气时压强与时间的关系曲线 步骤 （1） 首先检查整个真空系统，观察连接是否紧固，顺序是否正确，各个阀门是否处于关闭状态。 （2）接通电源，打开机械泵进行抽气，等机械泵运行平稳后，先打机械泵与扩散泵之间的前级阀门，用机械泵对扩散泵抽气。 （3）打开热电偶真空计，测量扩散泵室的气压，当真空的达到10-2Torr后，开启扩散泵的冷却水，打开扩散泵加热电源。 （4）扩散泵预热30分钟后，先关闭机械泵与扩散泵之间的前级阀门，打开机械泵与真空室的旁通阀门，用机械泵对真空室抽气。 （5）打开热电偶真空计，测量真空室气压，当真空的