真空技术基础.ppt

第二讲 真空技术基础 Fundamentals of vacuum technology 要 点 气体分子运动论的基本概念 真空获得的手段 真空度的测量 根据Knudsen准数Kn: Kn1: 分子流状态 Kn110 粘滞流状态 气体分子对单位面积表面的碰撞频率，称单位面积上气体分子的通量 在薄膜技术领域，人为地将真空环境粗略地划分为: 低真空 102 Pa 中真空 102 ?10-1 Pa 高真空 10-1 ?10-5 Pa 超高真空 10-5 Pa 真空系统中，气体的通过能力称之为流导C 不同形状管路的流导已被编制成图表 不同流导C1、C2、C3间可相互串联或并联，构成总流导C 串联流导： 并联流导： （就象描述气体流动的欧姆定律） 为获得真空环境，需要选用不同的真空泵，而它们的一个主要指标是其抽速Sp，其定义为 ( L/s ) 真空泵的抽速Sp与管路的流导C有着相同的物理量纲，且二者对维持系统的真空度起着同样重要的作用 第一讲 小结 薄膜材料在现代科技领域占有重要的地位，可作为大家今后作为材料科学家或工程师的职业方向 真空