实验2高速钢纺织刀片表面防磨蚀镀层及性能2.docVIP

实验2 高速钢纺织刀片表面防磨蚀镀层及性能 一、实验内容及目的 通过实验了解金属材料表面真空离子镀涂层工艺， 镀层材料的防腐蚀原理， 分析纺织刀片涂镀前后的抗腐蚀和磨损性能。 与实验相关的知识点 加弧离子镀技术（参考《表面工程概论》）； 电化学腐蚀防护（参考《材料腐蚀与防护》）； 高速钢组织及性能（参考《金属材料学》） 实验操作要点 刀片材料的表面预处理：机械清理，化学清理 离子镀TIN薄膜 了解主要工艺参数：温度、时间、真空度，等。 了解设备结构及镀膜原理； 镀膜操作及质量检测。 镀层刀片的抗电化学腐蚀分析：绘制极化曲线，确定主要参数；磨损实验。 分析镀膜刀片的微观组织、抗磨性，描述微观组织，绘制摩擦曲线。 实验报告要求 介绍镀膜原理及工艺参数； 介绍实验材料、仪器及程序； 分析镀膜刀片的微观组织、抗磨性、抗腐蚀性能的检测结果。 实验报告 实验报告 相关课程 姓 名 班 级 时 间 评 分 材料腐蚀与防护，表面工程概论，金属材料学 2012、4、28 实验内容 高速钢纺织刀片真空离子镀TiN膜工艺； 镀层抗磨损性能测试； 镀膜刀片基体及结合界面金相组织分析； 镀膜刀片抗腐蚀性测试。 实验原理 真空离子镀TiN膜原理及工艺参数； 抗磨损性能测试方法； 电化学抗腐蚀性测试原理； 1.1真空离子镀TiN膜原理 离子镀是真空室中，利用气体放电或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时，将蒸发物或反应物沉积在基片上。 在本实验中采用多弧离子镀技术，多弧离子镀采用的是弧光放电，而并不是传统离子镀的辉光放电进行沉积。简单的说，多弧离子镀的原理就是把阴极靶作为蒸发源，通过靶与阳极壳体之间的弧光放电，使靶材蒸发，从而在空间中形成等离子体，对基体进行沉积。 1.2 多弧离子镀工作系统 真空室、阴极弧源、基片、负偏压电源、真空系统、测温系统、供气系统 阴极点弧源——弧斑：由 阴极电弧靶、阴极电弧电源、阴极电弧源外加磁场 组成， 阴极电弧靶既是蒸发源，又是离化源。 图1多弧离子镀工艺原理 1—阴极弧源（靶材）；2，3—进气口；4—真空系统；5—基底；6—偏压电源 1.3多弧离子镀的工艺参数： 工作电流 靶源电流与弧斑的数目成正比关系，随着电弧电流的增加阴极斑点的数目增加，而且大电流工作可以使阴极靶源的蒸发速率提高，沉积速率增大。 反应气体压强 反应气体分压的大小直接影响薄膜的化学成分、组织结构及性能，是镀膜工艺中较为重要的参数之一。提高氮分压，有明显细化和减少颗粒的效果。气压过低，反应不完全。气压过大，溅射增强，反而不能形成表面质量较好和厚度达到要求的膜层，所以应选取合适的反应气体压强。 基体负偏压 当基体被施加负偏压时，等离子体中的离子将受到负偏压电场的作用而加速飞向基体。在沉积期间，负偏压又为离子提供能量使膜层与基底紧密结合。应选择合适的基体负偏压。 基体温度 基体温度的高低可以影响到基体对气体杂质的吸附、基体的硬度、渗透层的深度、膜层硬度及附着力等。 选择合适的基体温度对镀膜质量很重要。 实验时间 实验每一步的时间控制很重要，时间的长短对镀膜质量有明显影响，必须严格控制每一步实验操作时间。 1.3操作过程 1.3.1 高速钢纺织刀片的清洗 取纺织刀片用细砂纸将刀片表面的锈迹和污渍清理干净后用脱脂棉沾取丙酮溶液擦拭刀片，之后将刀片放入超声波清洗机中清洗一定时间后取出，用吹风机吹干刀片。用细铁丝挂刀片放在旁边留用。 1.3.2镀TiN薄膜操作步骤 确认各开关置于“关”位置。 合上各空气开关。 开电源、开气泵、开水泵，待指示灯亮后，开维持泵、开扩散泵（扩散泵加热50分钟后处于工作状态） 开放气阀，打开炉门，装入工件，工件悬挂高度与钛靶一致，检查工件转动情况，各工件之间工件与转架不得有碰撞现象。 关闭炉门，开机械泵，开旁通阀。开钟罩阀 开压强控制仪。当P≤2×10时，开旁通阀。开罗兹泵 当P时，关钟罩阀，开系统阀，开高阀 P时，关系统阀，关罗兹泵，关机械泵（当工件较大时，开加热，开转动） 当P时，开氩气、氮气、钢瓶阀开关 开氩气流量计电源，开关置于“阀控”处，调节电位器，冲入氮气，使压力达到要求 开转动电源，设定转动频率15-20之间，按确认键，加载 开偏压电源开关，调节百分比“60”，档位“B”，调节电位器，是电压值在设定范围内 开引弧电源，电压在100V以上 开弧源1，引弧，调节时间，计时，观察电压、电流 开弧源2，引弧，关引弧1，计时，观察电压、电流 开弧源3，引弧，关引弧2，计时，观察电压、电流 开弧源3，引弧，关引弧2，计时，观察电压、电流 调节偏压电位器，是电压在设定范围内，计时，依次重复14-17