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关于Tempress设备 设备的状况决定了制程的实际进行情况，作为核心制造工序扩散的主要承担者的Tempress设备的重要性不言而喻。对设备的的了解是异常排查、工艺调整和优化制程的基础，现将与工艺相关的Tempress设备的重要内容总结如下： 一、Tempress设备调试流程： 检查设备状况是否完整和正确：如气路连接是否正确，源瓶、恒温槽状态是否正常，排风是否正常等。 运行Profile工艺： 用以对应Paddle和Spike温度。 饱和：可以运行30次P156程序，让石英管和舟对磷的吸收达到饱和状态。 调节方块电阻：插一舟假片，其中选择7个位置放未扩散的硅片，运行饱和工艺，结束后测量方块电阻并进行温度调节，使方块电阻达到要求。 效率跟踪：在方块电阻正常以后，试做三管并进行效率跟踪。 交付使用：在试产片效率达到要求以后，即可交付生产使用了。 二、基本构造： 1、主要部件（main parts）： Load Station 装载区 Furnace 炉子 Gas Cabinet 气体装置 Main Power Cabinet 主电源装置 DPC (Digital Process Controller) 数字程序控制器 DTC (Digital Temperature Controller) 数字温度控制器 ETC (Excess Temperature Controller) 扩展温度控制器 Torch Screen 触摸屏 TSC-2 电脑连接 2、气路：在Tempress炉管尾部，有三条气管，分别为进气管，排气管，以及TC管。 各气体，如大N2，POCL3以及O2在经过流量计，阀门等混合后通过进气管流入炉内；在排气管上另有一个氮气补足管，此管通过尾气管向管内补充氮气，起到控制炉内压力的作用；TC管内有温度传感器，用于测量炉内的温度，对扩散炉的Paddle控温方式的实现以及Profile过程有着关键作用。 3、主要参数：各温区温度、炉内气体压力、各气体流量、POCL3的温度等。 三、基本操作： 主菜单：Tempress扩散炉控制界面的主菜单主要分为五部分，分别为： System control: 有关于系统设置的菜单 Certifications: 关于各主要参数的设定的菜单 Recipe: 程序的编写、修改和保存 Tube Control: 对扩散炉进行控制，如选择、运行和终止程序等。 Monitor: 系统状态监视和查看菜单 主要操作： 选择程序：Tube Control-Select Recipe 运行/停止程序：Tube Control-Start/Stop Recipe 终止程序：Tube Control-Abort Process Recipe 修改各温区温度：Certifications-Temperature Controller Certification 图形控制：Tube Control-Graphic Process Controller 修改程序：可以在住菜单Recipe中直接修改，也可以在Tube Control-Variable Command中修改程序中设置好的重要的可修改参数。 3、方块电阻均匀性（Uniformity）的计算： Uniformity[+-%]=(maximum value-minimun value)/2*average value 三、关于Tempress的输入输出： Tempress输入输出分为数字和模拟两种：Digital input/output和Analog input/output。两者的区为一个为二进制数字信号，一个是模拟信号。数字信号只有一位，0和1两种状态，主要是控制一些阀门和开关的开闭；模拟信号是连续电压信号，主要是用来控制一些流量计等。输入（input）是从检测装置传送到DPC的信号，是设备状态的一个反馈信号；输出（output）是从DPC发往一些控制装置比如阀门和流量计的控制信号。具体情况如下图所示： 数字输入（Digital Input）：共有16个，分别为： Nr. MNEMONIC Condition Alarm Active Statement 1 Press N2 ON YES 氮气压力是否正