干涉法实时检测浅度非球面方法的研究.pdfVIP

摘要 光学制造技术、精密机械加工、计算机辅助设计及装调技术的发展，使非 球面的制造和应用都有很大的改善。但是非球面元件在加工和检测上的困难， 制约了非球面在光学系统中的广泛应用。 本文从浅度抛物面非零位干涉检测角度出发，首先通过计算，确定视频探 测器的最大分辨率，得到ZYGO干涉仪直接检测非球面的适用范围。然后通过 编制Zernike多项式系数计算程序，并输入所测非球面的数学模型，计算理想 波像差函数。通过ZYGO干涉仪直接检测浅度非球面，对获得的干涉图波像差 数据与用编程计算得到的理想波像差数据进行波面相减，得到抛物镜的实际面 形误差。 在用干涉法实时检测抛物面时，由于光线不是按原路返回，所以在测量过 程中，光路中各种透镜不同位置的面形偏差也不可避免地混合在测量结果中。 结合绝对检测法对抛物面作迸一步精确测量，再进行波面相减，得到抛物镜的 绝对面形偏差，提高了测量精度。并利用自准法检验了所用方法检测数据的正 确性，取得了较好的实验结果。 关键词：非球面检测；Zernike系数；波面拟合；波面相减；绝对测量 。 ABSTRACT Withthe