外观不良原因及方法.pptVIP

前清洗 1、若出现雨点状的斑点：只要加入少量乙醇或异丙醇即可消除。 2、若硅片上端部分光亮：表明液位不够或溶液粘稠度过大，使篮框漂浮起来。 3、若硅片表面有水痕印：说明溶液内硅酸钠过量，适当加大NaOH的用量；还有可能喷淋效果不理想，调节喷淋吹风大小。 4、若硅片表面有手指印：没有按照正确WI的操作手册进行操作，裸手拿片或手套脏了及手套坏了没有及时的更换。需要求员工按照正确的WI进行操作，提高员工的操作素质及规范员工正确的操作手法，对员工进行综合性的培训。 5、若检验硅片发现有或存在裂痕：应及时挑出，防止在制成过程中出现碎片及卡片，造成不良或成本的浪费。 6、吸笔印：不能裸手去拿或污染吸笔头及长时间没有擦拭或更换吸笔头或吸笔真空太大，吸笔印落印在硅片上等因素都会造成吸笔印。方法：提高员工操作素质、半小时擦拭或两小时更换吸笔头，调整真空大小，杜绝吸笔印的产生。 扩散 1、蓝黑点：由于前清洗滚轮速度过快，造成在喷淋处没有吹干净出现蓝黑点。 措施：适当调整滚轮速度或喷淋吹风大小。 2、脏片：一方面由于清洗硅片太高或碎片残留堵住喷淋口和在扩散前硅片被污染造成脏片。 措施：及时清理和防止各种会造成硅片污染的因素。 后清洗 1、滚轮印：如果后清洗出来的片子没有完全脱