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勞工安全規範 靜電危害 摘要： 科學技術的飛速發展，電子、通信、航太航空等新產業迅速崛起，尤其需要電子儀器儀錶和設備等電子產品日趨小型化、多功能及智慧化。因此高密度的大規模及超大型積體電路不斷問世。這類器件具有線間間距短、線徑細、集成度高、運行速度快、低功率和輸入阻抗高等特點，因而導致此類器件對靜電越來越敏感。在應用中人們逐漸發現器件無緣無故地損壞或早期失效。這類現象往往是由於靜電放電（即ESD）造成的。 另一方面，在電子產品生產、使用和維修等環境中，大量使用容易產生靜電的各種高分子材料，這無疑給電子產品的靜電防護帶來更多難題和挑戰。 認識靜電： 靜電是由於物質表面的正/負電荷剝離(separation)所造成的電位。所有物質都可分為導電體、半導電體、或是絕緣體。會因不同程度的磨擦及空氣中相對濕度的不同而產生不同程度的靜電。 很多人在冬季都會碰到這種情況：握手時、指尖接觸時，有“觸電”的刺痛感；在開車門、開水龍頭時也經常“被電”；有時早晨梳頭，頭髮絲會越理越亂；晚上脫衣睡覺時，黑暗中會發出劈啪的響聲， 伴有閃光這些都是靜電現象。 ESD目前被分類為下列四類: (1) 人體放電模式 (Human-Body Model, HBM) (2) 機器放電模式 (Machine Model, MM) (3) 元件充電模式 (Charged-Device Model, CDM) (4) 電場感應模式 (Field-Induced Model, FIM) 電子產品在製造、測試及運送等過程中，均可能因操作不當，而產生高壓靜電放電(ESD)， (1)人員靜電電擊。 (2)火災及爆炸。 (3)產品品質不良。 (4)設備絕緣破壞。 1．穿著尼龍衣、塑膠基底鞋在清潔地板上緩慢走動，人身會帶靜電 7～8KV電壓。 2．玻璃纖維製成的的晶體載料盒滑過聚乙烯桌面時，易產生10KV靜 電。 3．晶片裝配線：晶片靜電可達5KV，晶片裝料盒35KV，工作服10KV， 有機玻璃蓋8KV，石英晶件1.5KV，晶片托盤6KV。 4．光刻間塑膠地面500～1000V，金屬網隔地面500～1000V，擴散間 塑膠地面500~1500V，塑膠牆面約700V，金屬活動皮革椅面500～ 3000V。 ? 靜電危害安全管理標準： 美國規範：ANSI/ESD S20.20：IEC-61340對靜電放電防護控制體系的特定要求。對工廠的ESD體系的建立、EPA的建立、敏感器件的包裝、生產各環節的處理、人員培訓和考核、內審制度的建立和檢查、檢測手段等各方面都作了明確的規定。 靜電防護的基本原則 抑制靜電荷的聚集 迅速.安全.有效地消除已經產生的靜電荷 防靜電工作區場地 地面材料： 禁止直接使用木質地板或鋪設毛.麻.化纖地毯及普通地板革。 應該選用由靜電導體材料構成的地面，如防靜定活動地板或在普通地面上鋪設防靜電地墊，並有效的接地。 允許使用經特殊處理過的水磨石地面，如事先敷設地線網.滲碳或在地面噴塗抗靜電劑等。 接地： 防靜電系統必須有獨立可靠的接地裝置，接地電阻一般應小於10Ω，埋設與檢測方法應符合GBJ 97的要求。 防靜電地線不得接在電源零線上，不得與防雷的線共用。 使用三相五線制供電，其大地線可以做為防靜電地線（但零線、地線不得混接）。 接地主幹線截面積應不小於100mm2；支幹線截面積應不小於6 mm2；設備和工作台的接地線應採用截面積不小於1.25 mm2 的多股敷塑導線，接地線顏色以黃綠色為宜。 接地主幹線的接連方式應採用釬焊。 防靜電設備連接端子應確保接觸可靠，易裝拆，允許使用各種夾式連接器，如鍔魚夾、插頭座等。 天花板材料： 天花板材料應選用抗靜電型材料製品，一般情況下允許使用石膏板制品，禁止使用普通塑料制品。 牆壁面料： 牆壁面料應使用抗靜電型牆紙，一般情況下允許使用石膏塗料或石灰塗料牆面，禁止使用普通牆紙及塑料牆紙。 濕度控制： 防靜電工作區的環境相對濕度以不低於50%為宜。 在不對產品造成有害前提下，允許使用增濕設備噴灑制剤或水，以增加環境濕度。 計算機房的濕度應符合GB 2887中的有關規定，類似的機房也應符合此規定。 區域界限： 防靜電工作區應標明區域界限，並在明顯處懸掛警示標誌，警示標誌應符合GJB1649規定，工作區入口處應配置離子化空氣風浴設備。 防靜電工作區內禁止使用及接觸易產生靜電荷的電荷源。油漆或浸漆表面，普通塑料貼面，普通乙烯及樹脂表面地板塑料及普通地革板，拋光打蠟木地板。普通乙烯樹脂工作服、帽、鞋普通滌綸，合成纖維及尼龍面料，塑料及普通膠底鞋操作工具及設備普通塑料盒、架、瓶、盤用品及紙製品，普通泡沫及一般移動工具，壓縮機、噴射設備、蒸發設備等。 電子產