2英寸Tl2212超导薄膜的制备及特性.pdfVIP

第 卷 第 期 低 温 物 理 学 报 ! ! # $%’! (%’# !! !! !! !! !! 年 月 +,-(./.0123(4516517 8.9:.34823.:,;/-+/ ! !))# ** (%’!))# 英寸 超导薄膜的制备及特性 @ 8H@@@ ! 黎松林* ! 陈莺飞! 王瑞兰! 徐小平! !! !! !! 田海燕! 王奉波! 雍俐培! 胡芳仁! !! !! !! 赵新杰! 林德华* 郑东宁! !! !! * 重庆大学数理学院物理系!重庆 I)))II ! !中科院物理研究所超导国家实验室!北京 *)))=) ! 优化了各项试验参数!运用后退火方法成功制备了 英寸 超导薄膜 为避免真 ! 8H!!*! ’ ! ! 空室污染!制备过程中先利用脉冲激光法在 基片上沉积出不含 的 前 541 8 F++Q1 G ! ! O 驱膜!然后在 !) I)d下的流动氩气氛中进行铊化后退火处理!制备的薄膜外观均匀光 滑 扫描表明!薄膜具有良好的 轴外延性 图像显示!薄膜以层状生长为主!表面存 ’! ’/.9 % 在孔洞团状颗粒以及少量针状晶粒 最佳薄膜零电阻温度 !临界电流密度 ’ F *)=Y M % 1) D # ! !表面电阻 *)4 UL B )’#L ’ $ - 关键词$超导薄膜!脉冲激光沉积! 8H!!*! $ ! !## GD)Y =**#- *引 言 !! 与