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30kW真空炉的技术升级 成永东、唐涛、蔺晋成 (电子科技大学物理电子学院，成都610054) 摘要：本文介绍了一种电真空用立式真空炉的技术升级方法。它仅保留了原设各的炉体和炉丝加热部分， 重新配置了一套以分子泵为主抽真空泵的半无油真空系统．替代了原设备的油扩散泵，极大地提高了炉膛 的洁净度。配置了自动PID编程温度控制系统，升级了原设备的手动控温系统，提高了真空炉的温度控制 精度和智能化水平，同时也提高了系统的可靠性。 关键词：真空炉；可编程PID调节器；温度控制 1引言 在世晃电子行业高速发展的今天，对微波管的制造工艺技术提出了更高的要求。真空炉 是微波管制造工艺线上必不可少的设各，其技术先进性很大程度上体现在真空获得途径、炉 温控制精度以及时间控制的准确度上，这几个关键指标也决定了电真空零件的焊接工艺的质 量和去气净化的质量，而这些也恰巧是老式真空炉设备技术落后面临淘汰的根本原因。当前 要购买一台中型真空炉，其市场价格一般在50万左右，这对于一些小企业或者小科研项目 而言却是一笔很大的开支，如果己有一台老式真空炉，则可以技术升级，使其达到现代制管 的工艺水平要求，而所花费用一般低于10万元，因此技术升级对资金较少的企业和单位而 言是提升工艺线技术水平的有效途径。下面介绍了电子科技大学的30kw老式真空炉的一种 技术升级方法。 2升级后的设备指标要求 (1)最高工作温度：1200℃ (2)加热控制方式：三相可控硅移相调压，低压加热，PID编程控制 (3)加热功率：30kW (4)炉膛有效容积：0160×200 Z10。Pa (5)冷态极限真空度：5 (6)热态极限真空度：1×10。Pa (7)温度控制精度：4-1℃ 3真空系统的设计 老式的立式真空炉是以钨丝作为加热器， 真空系统是油扩散泵的两级抽真空机组．包括 油扩散泵、旋片式机械泵、电磁阀等，旋片式 机械泵的故障率较高，而且以油泵作为主真空 泵，真空系统很容易被污染，已经不能满足现 代制管工艺对真空系统的要求。因此我们以分 子泵替代了油扩散泵，以直联泵作为前级真空 泵，重新设计了真空系统管路结构，如图1所 示。 分子泵应根据炉膛的体积和零件的放气情 P Hl 况选择，我们选用了1500L／min的分子泵提高 T1：苴’l 1l；Ia^ll：-1月11：_-t’_ 抽速以缩短达到真空度的时间，直联泵配套选 l们：疆疆曩P_2：舟千幕oi：净I幻：直量尼摹 _1．真奎，l生l鼻簟糟_ 10 择8L／min。该系统使用表明：真空度达到5X 1Pa仅需工作20～30分钟。 57 4加热系统的设计 4．1系统方案 炉体由壳体、加热器、隔热屏、水冷和顶盖构成。原设备采用的手动调节控制温度，操 作控制频繁，工作很不稳定，操作人员的随意性大，设备故障率高。考虑到设备技术升级的 成本，我们在升级时保留了原设备的可控硅调压加热方式， 其原理如图2所示。但这种方式对电网干扰较大，特别功率 50kW以上更加严重，因此企业资金允许可以改为磁调变压 器控制加热。 加热控制系统采用闭环控制方式，它由日本SHIMA I D(岛电)公司生产PF一2l型可编程PD调节器以及 PAC35P三相半控桥式移相模块和降压变压器、热电偶等构 成闭环控制系统。 4．2元件选型与计算 (1)三相半控桥晶闸管调压控制器主板PAC35P。它能 根据温度控制器输出的控制信号改变晶闸管的导通角，实现 加热功率的调节。低电压大电流变压器用于加热电流的转 换，最大输出电流700A。这种半控桥晶闸管电路只能在降 压变压器中性点不接地的系统中使用，而且要求为小型变压 器供电，如果加热功率很大(