JYG-700型箱式真空镀膜机.doc

JYG-700型箱式真空镀膜机用 处：专门为精密光学薄膜器件镀膜生产而设计，各系统单元和总体结构很好地满足了学薄膜生产工艺的要求，适用于增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀膜。编号 项目 描述 一、 1. 形式 箱式，立式前开门，蒸发室和抽气室为整体焊接式，配有门开到位限位装置；主机与电控柜之间安装金属线槽（主要连接电缆、电线、软水管和软气管均放入金属线槽），并从主机与电控柜上方通过。水、电、气路有故障自动报警和保护系统；采用声光报警。 2. 真空腔体 内腔尺寸为Ф700 mm（直径）× 850 mm（高）；采用0Cr18Ni9不锈钢材料,内表面作抛光处理，外表面为直接焊不锈钢半圆水管，通冷却水冷却；箱体内衬不锈钢防污板（侧壁防污板δ=1mm，室内下防污平板厚度δ=2mm）两套（其中一套为备用），多片式结构，安装方式上部为蝴蝶螺钉固定式（防污板与与内腔空隙1毫米左右，目的是隔热），在实体抽气口与工作室之间采用方便拆卸清洗的叶片挡板和不锈钢网。防污板（2套）为可拆卸式、便于清洗；真空室内配有照明灯一只。真空室外壁采用三组分段水冷却。在真空室顶部设置起重吊环。放（充）气阀有调节流量功能。 3. 真空室门 采用0Cr18Ni9不锈钢材料，内表面作抛光处理，外表面为直接焊不锈钢半圆水管，通冷却水冷却；真空室门上装有表面涂漆的外装饰板；真空室门上设观察窗，位置在中下部，并安装有耐高温、防辐射玻璃和可手动旋转的防强光的防护镜，内配不锈钢挡板，门开关采用上下2个螺旋转动可调型开关。 4. 主机骨架 采用型钢(材料:Q235-A)制造；与主泵间有隔热板。骨架前面有带锁的门；开门对锁，中间没有隔柱，便于维修。两侧有带百叶窗的可拆卸的固定侧板。 5. 水冷却系统 主进、出水分配管采用不锈钢管制成，各主要冷却部位均单独供水冷却。进、出水软管有标识区分；对主泵、晶控仪等加装水流保护，有断水报警，并有水流量显示。 6. 控电柜 采用19英寸国际标准控电柜，为前后开门大板式结构。控电柜内主要电器外购件均选用通过CE认证或ISO9001认证的生产厂商的产品。 二、 1. 极限真空度 3×10－4Pa 2. 恢复真空时间 在250℃加热时大气至4×10－3 Pa≤15min 3. 保真空 在温度250℃及真空室达到极限真空度后，关闭高真空阀一小时后，真空室真空度≤9×10－1Pa 4. 真空系统配置 主泵：TK-500扩散泵(+氟利昂冷阱) 前级泵:2X-70型机械泵。（南光2x70泵）,罗茨泵ZJ-300,维持泵2X-8。 配备防湍流装置(可减少真空室排大气时湍流对工件的影响)；置设在实体下部电子枪上部，防止灰尘上扬； 真空系统管道采用Q235-A材料，管道软连接处采用金属波纹管；各真空阀门为气动阀门； 5. 真空系统测量 配成都正华公司ZDF-Ⅹ-LED数字复合真空计壹套（两路低真空电阻规，一路高真空电离规）；金属规 高真空电离规安装在真空箱体抽气室顶部靠近工作室一侧； 电阻规安装在真空箱体抽气室顶部和机械泵部。 各个测量规管垂直安装，玻璃真空规管均有金属保护罩； 6. 真空系统操作 有手动和程序自动两种模式,真空异常或停电各阀门泵等恢复关闭状态，互锁功能要好。 7. 8. 真空密封 测试方法 公转转动采用磁流体密封，其它地方采用氟橡胶等耐温长寿命橡胶圈 按照GB11164真空镀膜机通用技术条件执行 三、 工件架 采用行星工件盘（1-3圆盘）形式。 工件架材料 采用0Cr18Ni9不锈钢材料，厚度为3mm; 开孔尺寸由用户方在合同签订时确定； 工件架旋转 转速3～30rpm，直流调速，上驱动方式。 四、 烘烤方式 碘钨灯下烘烤，无上烘烤 烘烤器件 下烘烤，加热器采用碘钨灯配温控仪(FUJI-PXR系列数字温控仪)，仪表控制精度为±1℃，控温方式为PID自动控温及显示；功率6KW。 烘烤功率 6KW 温度 最高250℃，温度可控可调; 烘烤温度均匀性 200℃±5℃（20 min内）中心和边缘 五、 其他 配一套动挡板机构，可调节旋转速度和角度及起始位置，挡板为插入式，挡板边缘有折边，挡板下有可拆卸不锈钢网。 七、 、 、 十、 设备颜色色标如用户指定要求： 十、 工作环境要求 环境温度：10～35℃; 相对湿度：不大于80%； 设备周围环境整洁，空气清洁，不应有可引起电器及其他金属表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。 十、 设备动力要求 水源: 工业软水，水压0.2～0.3Mpa，水量～50L/min，进水温度≤25℃； 气源：气压0.6MPa； 电源：三相五线制220V/380V，50Hz，电压波动范围：三相342～V，单相198～2V；频率波动范围