一种利用光电极值法监控非规整膜系的新方法.pdfVIP

2003年十一省(市)光学学术会议论文集 一种利用光电极值法监控非规整膜系的新方法 陈德军杨亚培 电子科技大学．光电信息学院，成都，610054 摘要利用光电极值法对规整膜系的膜厚进行监控的方法已经得到了成功的应用。但是该方法对1}=规整膜系的 监控却受到了一定的局限。本文提出了一种利用光电极值法监控非规整膜系的新方法。通过拈岭控光波长范围内 搜索，找到了待求的非规整膜系每一层的监控波长．glJXo。，以h为监控波长实现非规整膜系的舱挖。并将整个监 控过程进行了计算机模拟。最后，对所得结果进行了误差分析，分析了其可行性。 关键词 光学薄膜，极值豁控法，膜厚，监控，计算机模拟 1．引 言 规整膜系即膜系中每一层的光学厚度都为Lo／4的整数倍的光学膜系。由于其发展较早，已经得到 了比较广泛的应用。它的优点是膜系设计简单、便于监控，只要选择一般的极值监控法就可以实现。 但是它也有一定的局限性，比如对材料的要求比较高、所得的光谱特性不一定会非常理想等。 随着膜系设计与计算机技术的发展，非规整膜系得到了越来越多的应用。所谓的1卜规整膜系即膜 系中每一层的光学厚度都为非h归的整数倍的膜系。非规整膜系能够很好地解决上述的问题。对于材 料有更宽的一个选择；并且可以达到规整膜系所不能达到的光谱特性。但是非规整膜系也存在着一定 的局限。其监控问题便是一个难题。针对该问题人们提出了一些解决的方法¨J121。比如说利用宽带膜 厚监控系统进行监控以及利用石英晶体振荡技术进行监控等。前者是在一个宽带的波K范围内对每一 层薄膜蒸镀过程中的评价函数变化进行实时的监控，令评价函数向小的方向进行移动，直至足够小达 到要求为止。从理论上来说，上述方法是比较理想的，但是由于目前很多设备并不能完成上述的过程， 并且其监控工艺过程的设计也是一个比较复杂的过程，故它的应用也相应的受到了一些局限；后者是 监控非规整膜系的每一层膜的几何厚度。由于在镀膜环境等一些参数的不确定性，其蒸镀材料的性质 也会产生一定的不确定，这样该方法在监控的过程中也会带来比较大的累计误差。 本文提出了一种利用光电极值法实现非规整膜系监控的新方法。其主要的思想便是找到某一层蒸 镀结束位置的透过率(反射率)的强度能够出现极值的波长，并将该波长作为该层的监控波长进行膜 系的厚度监控。这样，通过改变每一层膜的监控波长，在一个监控片下即可完成了非规整膜系的每一 层的厚度监控。实验证明该方法完全继承了光电极值法的自动补偿【3l【4l等优点，得到的光谱曲线与理 论的曲线吻合得比较好。 2．光电极值膜厚监控系统以及其监控原理 由图l所示，在光学监控中．监控光通过(透过或者反射) 监控片到达真空室外的单色仪，单色仪将稳定的全波段的监控 光滤成监控波长的光，即k，，再通过光电倍增管，将该光信号 转变成电信号，并将其放人，通过仪表显示或者计算机识别。 当蒸镀开始时，监控片也随着样品一起被镀上薄膜，由于薄膜 的产生，令入射光的位相发生变化，而引起透过或者反射的监 控光强度发生变化，既而令光电倍增管输出信号也随之产生同 相的变化，这样就实现薄膜厚度的监控【5l。光学极值法就是利 用监控光强产生的极值变化来判断所镀膜层的厚度。 图1光学监控系统示意图 366 2003年十一省(市)光学学术会议论文集 找出监控光强在监控过程中出现的极值，是利用光电极值法监控的主要任务。该极值对应丁一个 位相为兀／2整数倍的膜厚。对于规整膜系来说，其每一层在中心波长h处的位相厚度都为r,．／2的整数倍， 即其光学厚度都为k弘的整数倍。所以只要用k作为每一层监控波长，其每一层的薄膜在蒸镀结束时， 透过率或者反射率的强度就会出现一个极值。所以，规整膜系利用单一波K即可完成膜系的监控【21。 但是对于限规整的膜系而言，由于其每一层的厚度为非k∥的整数倍，所以将找不剑单一个的h，， 使它在每一层蒸镀结束时都会出现透过率或反射率强度的极值变化。从理论上分析可知，膜系的透过 率或反射率是波t4以及膜系每一层的厚度与折射率的函数【31。某一层结束处的透过率或者反射率光强 与波长的导数为零处的波长即是该层能够出现监控光强极值变化的波长，即监控波长。所以要求出二f卜 规整膜