一种碲化镉薄膜湿化学腐蚀方法的研究.pdfVIP

·372· 中国太阳能光伏进展 一种碲化镉薄膜湿化学腐蚀方法的研究：? 李卫 冯良桓黄小辉蔡亚平 郑家贵蔡伟 张静全黎兵武莉莉 雷智 陈茜 四川大学材料科学与工程学院 四川成都610064 【摘要】 在CdTe与金属背电极间形成稳定的低电阻接触，有助于CdTc太阳电池的工业 化生产。本文采用硝酸一冰乙酸腐蚀CdTe薄膜并用真空蒸发法沉积了铜背接触 层材料，制备了CdTe太阳电池。XRD测试结果表明在膜面生成了富碲层，SEM 的结果说明硝酸-冰乙酸腐蚀为各向同性刻蚀。对背接触层材料进行退火处理， 获得了转化效率9．688％的CdTe太阳电池。 【关键词】 硝酸-冰乙酸背接触层CdTe太阳电池 ofawetchemicalofCdTethinfilms Investigation etching LIWeiFENG HUANGXiaohuiCAI ZHENGCAIWei Lianghuan Yaping Jiagui ZHANG LI WULiliLEIZhiCH JingquanBing ENQian ofMaterialsScienceand 610064 College Engineering，SichuanUniversity，Chengdu，Sichuan 0引言 以减少背接触势垒的影响，使得原来热电子发射输运方式转变为隧道输运方式，从而实现 CdTc与金属背电极问的低电阻接触【ll。 红棕色易挥发刺激性的液体，易造成环境污染。虽然NP腐蚀已经应用于工业化生产，但NP 刻蚀为一种择优腐蚀，控制腐蚀进程较为困难。基于cdR腐蚀的基本原理，我们发现采用 硝酸-冰乙酸腐蚀方法不存在上述问题，而且关于硝酸-冰乙酸腐蚀CdTe薄膜的研究几乎未见 ’ 报道。 化合物半导体和空间用太阳电池及材料 ．373． CdTe太阳电池的产业化发展有重要的意义。 1实验 太阳电池的衬底为Sn02：F／Coming1737玻璃，由美国Green LLC提供。 Development nm。随后， 采用近空间升华系统【4】制备6～8 宜的载流子类型和电阻率，退火温度约4000C，时间约30分钟。退火后的样品，用硝酸·冰 乙酸对CdTe多晶薄膜进行腐蚀。 ． 样品腐蚀后，用去离子水冲洗，氮气吹干，再真空蒸发法沉积铜背接触材料。取出样品 cm2。 电子束蒸发Ni作电池的背电极，其厚度为150nm，电极面积为0．071 。 方块电阻的测定用四探针法；厚度的测定用Ambios 太阳能电池^y特性测试设备进行测试。 2分析与讨论 2．1 硝酸一冰乙酸腐蚀对CdTe薄膜性能的影响 CdTe薄膜腐蚀后，表面颜色有变化，一般呈灰白或亮白色，XRD测试表明生成了导电 的六方结构的碲，如图1所示。由图可见，碲含量 的多少与腐蚀温度和时间有关。腐蚀温度越高，越 有助于碲的生成。 ．CdTe薄膜腐蚀前的电阻很大(200M掰口)， 而经过硝酸．冰乙酸溶液腐蚀后，其表面电阻 20 M甜口。对于CdTe薄膜腐蚀，硝酸-冰乙酸溶 液腐蚀浓度越大，温度越高、时间越长，则CdTe 薄膜的表面电阻越小。这主要是因为腐蚀后在薄膜 表面生成了更多的导电单质Te。由表