对高反射率薄膜反射率的测量方法和系统设计概要.doc

对高反射率薄膜反射率的测量方法和系统设计 小组成员：陈杰 2012059010001 吴佳杰20120590100 尹明 201205901000 光学薄膜，是指在一块透明的平整玻璃基片或光滑金属表面，用物理或化学的方法涂敷的单层或多层透明介质薄膜。光照射在光学薄膜后，会产生透射，反射，吸收，散射等等性质变化。其中反射薄膜正是光学薄膜应用中相当重要的一面。 通过本学期物理光学的学习，我们小组对高反射薄膜的反射率测量产生了浓厚的兴趣。在查阅了相关的资料和论文之后，我们得到了一些成果。 我们在查阅资料的过程中发现，反射膜反射率的精确测定在当今光学工程中有着重大意义，对于提高镀膜工艺，改善激光陀螺的性能等等方面起着十分重要的作用。目前测量超高反射率的方法主要有两类：一类为单，多次反射法，这类方法的测量结果受光源稳定性很大，在其误差分析中主要考虑光源强度起伏的影响。根据检测光束在待测样品上的反射次数分为单次反射法，二次反射法和多次反射法。此类方法常用于精度要求不高的光学实验，提高测量精度的途径为改进光源的稳定性。而另一类更为普遍的测量方法则是以光学谐振腔为基础，如光延迟线的测量法，光腔衰减光谱方法及利用光学谐振腔的精细度测定的方法等等。该测量方法的精细度主要取决于对各种测量方法的误差分析，理论推导。 我们小组对与测量薄膜反射率提出了以下几种不成熟的想法，具体如下： 一、基于光腔衰减方法的改进实验装置 我们小组首先对于利用光腔衰减方法测量薄膜反射率提出了一些设计。通过测定谐振腔的衰减时间来确定反射率的方法称为衰减时间法，也称为光腔衰减方法。此方法灵敏度极高。其基本原理见于下图： 在经过小组讨论后，我们设想了一种更为便捷的方法。基本思路是在衰减时间法测量反射率的实验装置基础上加以简化，即是否能舍掉M1，M与M2构成的谐振腔而直接由待测镜（两个）构成谐振腔，再由计算机对透射光进行处理，求出腔的衰减系数，进而求出反射率。其基本原理如下图： 由于衰减时间法测量反射率的灵敏度极高，为10的-6次方量级，我们设想的方法即可以降低谐振腔的损耗，提高测量结果的精确率，不过这种设想只是主观推测，具体能否实际可行还需实验的真实测量。 误差：对于此种方法，误差的主要来源为谐振腔中的损耗因素即几何偏折损耗，衍射损耗，腔中介质的吸收散射损耗等，与衰减时间法测量反射率的误差来源基本一致。 精度提高：本方法精度提高的途径有尽量降低除反射不完全外的其余损耗，并可以将影响较大的损耗考虑到计算公式内。 二、两次反射测量薄膜反射率 在查阅文献后，我们了解了单，多次反射法测量反射率的方法，设I2是无样品时的光强，I1是加入待测样品之后的光强，则样品反射率和相对误差为： 显然反射次数越多，测量精度越高。反射次数少时对光源的稳定性要求更高，现在假设有一台光学性能十分稳定的光源，我们小组在此基础上设计了一款利用二次反射法测量薄膜反射率的实验装置。其基本原理见于下图： 上图测量系统中，精度为10的-2次方量级，误差的主要来源为两次反射角度的微小差异，以及光源的稳定性。提高精度的方法有增加反射次数，此时要求设备的角度十分精确，更加稳定的光源也能提高精度。 三. 、关于利用激光发射器产生的激光，和激光扩束镜，以及镀有高反射薄膜（待测薄膜）的凹面镜，和灵敏光测量计的综合应用测量薄膜的反射率. 关键词：激光，激光扩束镜，汇聚作用的凹面镜，光强测量计。 在查阅了有关资料后，我们小组发现了一种基于积分球的绝对反射率测量技术。详情如下： 绝对反射率是区别于一般的相对反射率测试方法而提出的，即它的反射率测试的实现不需要反射率已知的标准样片。积分球是应用于光度测量中的重要光学附件，它的特性在于具有很好的混光特性，经积分球出射的光束认为是理想的漫反射光，下面介绍了基于积分球这一光学特性的绝对反射率测量原理。 积分球又称光度球，它是一个内壁均匀喷涂具有郎伯漫射特性材料的球形空腔，一般由两个半球壳组装而成。最早在19世纪90年代用于光源的光度测量，很快捷就在许多方面得到了应用。现在它已成为辐射度，光度，色度测量中不可缺少的设备。 积分球所以被广泛应用，本质上在于它的混光特性。一束光进入积分球后，经多次漫反射，就形成一个理想的漫射源。这样就可以消除被测样品的不均匀性和测量器件受光面的不均匀性带来的影响。另外积分球还是一个理想的消偏振部件，从而消除了测量中偏振的影响。 如上图所示，一束光通量为φ0ΔΣ的光辐射经开口S2进出内球半径为r的积分球内，投射在内壁S3上。经涂层多次漫反射后，除一部分通量经开口S2射出外，其余部分则在积分球内表面形成均匀的照明。设积分球内壁涂层的反射率为R，则