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目 录
一、 主要用途及适用范围 --------------------- 2
二、 主要技术参数 --------------------- 2
三、 操作须知 --------------------- 2
四、 结构特点 --------------------- 3
五、 安装须知 --------------------- 3
六、 操作说明 --------------------- 5
七、 工装附件 --------------------- 8
八、 夹具更换 --------------------- 8
九、 设备保养 --------------------- 8
十、 装箱单 --------------------- 9
十一、原理图 --------------------- 10
十二、外形图 --------------------- 18
一、主要用途及适用范围
TC-2400硅片自动装片机是根据光伏产业和国际半导体产业的发展及市场需求而开发研制的新型自动化设备。可通过数控装置可靠地实现自动装片,并设有连锁保护、工况显示、故障报警等功能。
该设备主要用于硅片、太阳能电池片等类似形状产品的自动插片。整机采用3工位立式升降机构,通过伺服电机、滚珠丝杠、直线轴承系统实现精确传动。
该设备适用于125mm、156mm硅片的自动插片。
二、主要技术参数
工位数量 3工位(75片)
硅片规格 125mm,156mm;厚度:180~200±20μm
分辨率 0.4μm/步
装片能力 2400~3600片/小时(视操作者节奏)
控制系统 触摸屏/PLC可编程序控制器/交流伺服系统
电源 AC220V(单相三线),50Hz
总功率 1.5Kw
外形尺寸(长x宽x高) 1480x780x2120mm
三、操作须知
1、敬请按操作说明的方法进行正确操作;
2、非电气专业人员请勿打开电气箱门。
四、结构特点
1、设备为不锈钢整体式框架结构,布局合理,外观新颖,操作方便;
2、硅片装片前先放置于水槽,水槽内的水通过加热系统保持一定的温度,
设计人性化;
3、水系统可实现定时自动换水及循环用水,并经初滤后再经滤袋式过滤机循环使用,并设置有快速清洗装置,保持水路畅通;
4、采用PLC可编程控制器,程序运行可靠,功能齐全,各种运行模式均可在触摸屏或控制面板上调节和设定;
5、配置交流伺服系统进行高精度定位;
6、采用OMRON高灵敏度传感器进行扫描监控;
7、具有零位和工作位置的校准功能,校准快速、准确、精度高;
8、配有系列安全保护装置:
8.1水工作状态监控,并设有水位自动调节功能;
8.2设有运行过程中的上下极限位置报警;
8.3设备设有紧急停止及复位停止功能;
8.4具有整机漏电保护装置和接地端子功能。
9. 硅片盒定位夹具能随时适应6吋/8吋硅片的快速转换,操作简单,性能可靠。硅片缓冲挡可有效避免硅片入盒冲击造成的应力破损。
五、安装须知
1、本产品安装于平稳,周围无强烈振动源场地;
2、供电条件为220V±20V,50Hz;单相三线制。应在设备外部电源输入端,配置供电控制设施,方便电源投切。
3、保护接地端子(PE)接地应按规定接地良好(请勿与电气零线共用);
4、本产品与墙壁及其他机器之间最少应有1m以上的距离;设备须放置于平整地面,本设备无需地脚螺栓固定;设备自带的可调二用脚轮能在现场适当范围移动和调整水平。设备就位后,应使轮子提起,调节橡胶蹄脚并使其受力,保持设备平稳。
注意:用于运输途中的设备部件零时固定应在设备就位后及时拆除,以防留下隐患。
设备初次使用,应做好相应的检查、准备工作:机器就位后对传动部件、紧固件、导轨、导轮、管路阀件等应进行详细检查、调整以及传动部分的润滑。并接好进、排水管路,检查阀门开闭
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