半导体Si上电沉积CuCo金属颗粒膜及其巨磁电阻效应.pdfVIP

2∞4年全国电子电镀学术研讨会论文集 半导体si上电沉积cu—co金属颗粒膜 及其巨磁电阻效应 姚素薇昊海傩主宏智 (天津大学化工学院应用化学系，3删2) 心台金结构，退火后样品的巨磁电阻值得到了提高，在退火后样品的xRD谱臆中观察到了析出的纯金属co的衍射峰，这表明薄膜 中发生了相分离。当样品组成为c020cu80时，450℃退火后得到最大巨磁电阻值为8．21％． 【关键词]颗粒膜巨磁电阻相分离 C似Cul一x were atmom onto Abstract：Granular aIloy矗lmspreparedbyelectrodepositiontemperaturedirectly si that substrate．xRDrevealsthe metastablefcc stmcmre． semiconducⅡng as～deposited矗lmsfo珊sind8phase a110y TheGMR0fthe PLlreCo in 0f 61mswas fcc wereobser、Tedthe improved曲ef anneali“g dimactio“peaks of theannealed occuHtd maximumMRratio upon 8．2l％wa暑ob— sam—e，irldicati“gphas8}Pparationannealing．The for tainedC020Cu80thin御m出er at450℃for叽ehouT． anneali“g Key words：铲anuIar6Im；GMR；phaseseparation 自从在多层膜和颗粒膜中发现GMR效应后，磁TD3690恒电位仪进行控电流沉积。 性纳米材料由于基础科学研究以及在磁记录材料和 1．2电镀工艺 磁传感器上的应用，已成为人们非常感兴趣的一个学 镀液组成为：cus04·5H：O 科”“1。磁性颗粒膜～般是由纳米尺寸的磁性颗粒镶 33．72∥l，c6H5Na307·2H：O 嵌于不互固溶的非磁性金属或绝缘体基体中构成的 均为分析纯，采用双蒸水配制。 复合材料体系，原则上。颗粒的组成与薄膜的组成在 工艺流程为：单晶硅一丙酮清洗一酒精清洗一超 制备条件下应互不固溶，因此颗粒膜区别于合金、化 声波清洗一1：1(体积比)HF酸刻蚀一电沉积一水洗 合物，属于非均匀相组成的材料”“1。与多层膜相比， 一吹干 颗粒膜由于制备方便、热稳定性佳、一致性、重复性好 1．3热处理条件 等优点在实用上颇受青睐。 退火在武汉市汉口电炉有限责任公司生产的 颗粒膜中的巨磁电阻效应主要来源于非磁性基 体中，磁性颗粒在界面处的电子自旋相关散射”1。非 对电炉进行程序控温，控温精度±1—2℃，升温速度 磁性基体中磁性颗粒的尺寸，形状，间距，分布等各种 为10℃／min，降温采用自然冷却至室温。退火温度从 因素都影响颗粒膜的巨磁电