基于自旋阀的GMR线性传感器的制作.pdfVIP

第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct．2006 on FabricationofGMRLinearSensorBased Valve Spin LI Wei。，LIUHua—rui，LIUPeng，RENTian-ling，LIULi—tian (Institute 100084，China) ofmicroelectronics，TsinghuaUniversity，Beijing linear is GMR sensorbasedon valvefabricated．The Abstract：Usingannealingtechnology spin coercivity ofGMR islessthan wideof resistor sensor 0．010e，thesensorisgood1inearity．Theserpentinesensing affectthe ofGMRsensor．Withthe resistor linear capability wideofserpentinesensing reducing。the ofGMRsensorisincreaseandthe ofGMRsensoris resultsof range sensitivity reducing，theexperiment and simulationareconsistent． theory sensor Keywords：spinvalve；giantmagnetorsistance；linear EEACC：3120N 基于自旋阀的GMR线性传感器的制作 李 伟’，刘华瑞，刘鹏，任天令，刘理天 (清华大学微电子学研究所，北京100084) 摘要：利用退火技术制作出自旋阀型GMR线性传感器，传感器矫顽力低于0．010e，具有良好的线性，电阻条的宽度与传 感器器线性范围和灵敏度直接相关，随着条宽减小，传感器器的线性范围增加而灵敏度降低，实验和理论计算的结果一致． 关键词：自旋阀；巨磁电阻；线性传感器 中图分类号：H．212．13 文献标识码：A 文章编号：1∞4—1699(20嘶)05—2065-03 自从1988年法国巴黎大学Fert教授领导的研究更具优势．目前它已被用于电流测量[2]、磁性编码 小组首先在Fe／Cr金属多层膜中发现巨磁电阻(Gi—器、角度测量、转速测量[3]、生物信号检测[4]、硬盘驱 ant Magnetoresistance，简称GMR)效应以来，与电子动器的读出磁头[5]、磁随机存储器[6]等．在这些应用 自旋相关的研究成为新的研究热点，各种基于GMR 中多数自旋阀型GMR传感器的主要作用是探测磁 效应的磁传感器的研究受到人们的普遍关注． 场有无的数字量传感器，而应用于模拟量测量的线 性GMR传感器对器件性能的要求比较高．除了要 1991年，B．Dieny等人提出了“铁磁层／非磁隔 离层／