基于虚拟仪器的HBT器件自动测试系统.pdfVIP

第十五届全国化合物半导体、微波器件和光电器件掌术。分议 g-州’08 P05l 基于虚拟仪器的HBT器件自动测试系统 欧阳思华，武锦，李艳奎，刘新宇 (中国科学院微电子研究所，北京100029) 摘要：由它的材料特性和结构特点决定，HBT(异质结双极型品体管)具有高的开关速度、截止频率、电流增益和输出功率。 但是，在实际测量的过程中，涉及多台仪器问的协同工作，仪器的手动操作，测试数据的采集、保存和共享成为横亘在评估HBT 器件住能问的一道障碍。本文正是在改进传统测试的基础上，通过搭建基于LAN的虚拟仪器构架，介绍一种自动化整体评估 HBT器件性能的办法。这套系统很好的解决了测试数据的快捷传输，实现了测试过程的自动化，加快了测试速度。 关键词：一键式测量，虚拟仪器，自动测试系统，InPHBT 中图分类号：TP202 文献标识码：A 文章编号： Auto—test ofHBTdevi oebasedonVi rtuaI I nstruments system Sihua Liu Wu，YankuiLi，Xinyu Ouyang，Jin (InstituteofMicroelectronicsofChineseAcademyofSciences,Beijing100029,Chiha) and Abstract：HBT(HeterojunctionBipolarTransistor)possesseshighswitchingspeed，cutofffrequency,currentgain outputpower its becauseof material andstmcture thecourseofactualmeasurement．someare peculiarity characteristic．However,in problemsbig toevaluatethe as and testdata．On challenge performance，suchworkingamonginstrument，manualoperating，collecting，savingsharing thebaseto traditional letter introducea torealizeonwafer船Tdeviceautomaticmeasured improve means，thisjnstly way system,via constructthevirtualinstrumentbasedonLAN．This solvesthetransmissionofdataandrealizestheautomationoftestand system system the speedsup process． HBT Key measurement，VirtualInstruments，auto—test words：one—key system,InP EEACC：B70 存在各自分立的仪器内，使得这一步所测得 1前言 的数据不能及时的给下一步测试给出指导； 异质结双极晶体管(HBT)具有高的电流③手动操作。在以往的测试过程中，都