2-3-4电浆原理.doc

2-3-4 電漿原理 電漿為一種電化學反應，其為於真空狀態下於兩電極間電極間施加高電壓，產生一個電場，使存在於真空腔體中之帶電粒子加速並獲得動能，帶電粒子在移動過程中與氣體分子發生碰撞，同時發生能量轉移，而碰撞方式分為彈性碰撞與非彈性碰撞兩種，若帶電粒子與氣體分子進行非彈性碰撞則帶電粒子的動能幾乎百分之百轉移成氣體分子的內能，此能量若足夠，便可將氣體分子激發、解離、游離成為介穩態分子、自由基、離子等具高活性的粒子，而此種電子、自由基、離子、激發態分子與氣體分子同時存在的狀態就稱為電漿狀態[18]。 輝光放電為濺鍍最基本的方法，其氣體壓力約在103~l0 pa的真空腔體內，於二電極間間加以(1)高電壓(2)低週波的交流高電壓(3)直流電壓，兩極間即會產生放電現象，而直流輝光放電之電位-電流關係，隨著電流增加可分為以下幾種輝光[19]，如圖2-6、圖2-7所示： 湯森放電 (10-14 ~10-6 A)：放電電流比正常放電電流小的領域。 輝光放電 (10-2~10-5 A)： 放電維持電壓一定的領域。 非正常放電 (10-1~10-2 A)：放電電流較一般放電大時，持續放電之電壓隨電流增加而增大。 弧光放電 ( 10-1 A)：超過非正常放電後，持續放電之電壓會急速下降，產生大電流的弧光放電。 圖2-6 不同電位-電流操作電壓之放電狀態 圖2-7 兩極間直流輝光放電之狀態