射频微机械CPW开关测试技术研究.pdf

射频微机械CPW开关测试技术研究 张正元1’2肖坤光2徐世六2张正番2欧益宏2温志渝1 1重庆大学光电工程学院，邮编：400044。 2模拟集成电路国家重点实验室，邮编：400060 E-mail：zhan945678@peoplemaii．com．ca 摘要通过对射频微机械cpw开关的工作原理进行分析，提出了一种测试射频微机械CPW 开关的电路结构，根据CADENCE工作站的模拟，验证了该方案的可行性，并获得 了该测试结构的优化电参数条件，为射频微机械cPw开关的测试和应用打下了基础。 关键词射频微机械，CPW开关，金属膜，绝缘层 l引言 射频微机械CPW(coplanarwaveguide)开关没有使用PN结或金半结(即肖特基结)，与 PIN开关相比，它消除了PIN开关所固有的PN结I．V非线性问题和因扩散电阻等带来的高插 入损耗问题，具有线性度好、插入损耗低的优点，因而它将成为下～代通讯领域的关键元器 件，备受大家关注【1】【2】【引。如南京55所的朱键等人【2】在2000年采用钛金复合材料在高阻硅衬 底上研制出DC-20GHz的射频微机械开关。这种开关与其它常规的MEMS开关相比较有其特 殊之处：CPW发射线上信号与DC致动电压加在一起。如何把DC致动电压分离，检测取出 开关的输出信号，真实地反映开关的性能，这是该开关能实用化的关键。本文围绕这种射频 微机械CPW开关开展了测试技术研究，设计出了一种检测和取出开关的输出信号的电路结构， 通过模拟证实了该电路结构测试射频微机械CPW开关的可行性，为这种开关的应用打下了基 ‘ 础。 2射频微机械CPW开关的工作原理 射频微机械CPW开关的结构如图l所示【2l，它是由一薄层金属膜像桥一样悬在底电极上 方，底电极上有一层绝缘层保证金属膜与底电极实现直流绝缘，当开关的这一层金属膜悬在 空中，开关处于开态，如图I(a)所示，在底电极上的RF信号可以自由通过：当在底电极与 悬在空中的金属膜之间加一直流电压时，它们之间就会产生静电引力，通过静电引力把金属 膜下拉到底电极与绝缘层接触，如图l(b)所示，在底电极上的I江信号通过底电极与金属膜之 间的大电容直接到地，实现开关的关态。通过静电弓I叻的作用，改变底电极与地之间的电容， 以完成开关的功能。当金属膜没有受静电71力的作用时，金属膜与底电极之间的电容表示为 ％=1／(等+昔) ㈩ 938 其中C。。表示开关开态下的电容， ￡D与￡o分别表示绝缘层和空气的介电常数：hD表 示绝缘层的厚度，勘表示绝缘层与金属膜之间的空高，A为金属膜与底电极之间交叠的面积。 当开关的金属膜受静电引力的作用时，金属膜受静电引力的作用被下拉到与底电极上的 绝缘层接触，此时金属膜与底电极之间的电容表示为 Co∥=警 (2) 这种开关的特性如：插损、隔离度都取决与开关的开态和关态电容。因此开关的开态电 容和关态电容需要严格调整，以满足CPW开关的要求。 翌 幽 图I：射频微机械CPW开关的结构图 3射频微机械CPW开关的测试方案 从射频微机械CPW开关的工作原理知道，射频微机械CPW开关与其它开关相比具有其 独特的特点，信号与偏值电压一起加在波导线上，因此射频微机械CPW开关的测试必须解决 如下关键技术问题： · 如何加输入信号进入开关。因为如果输入信号与控制信号加在一起，那么输入信号就 会通过控制信号通道直接到地。因此输入信号与控制信号通道必须保证分离开，确保 输入信号不受影响。 ·试结构必须保证对输入输出信号不受影响，以保证测试系统能真实反映射频微机械 CPW开关的插损、隔离度。 根据射频微机械CPW开关的