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嵌入式自动调焦IC晶片显微图像采集系统的构建.pdf
艾■卡(IMCA2006)一■论丘论文集
参与深圳港澳台高层产业交流·聆听两院院士行业专家占评·构建泛珠三区域产学研基地·仪器仪表与测控自动化盛会 黪一
嵌入式自动调焦IC晶片显微图像采集系统的构建
邓耀华1．2，刘桂雄1，吴黎明2，薛向东2，张颖敏2
0643)
(1．华南理工大学机械工程学院，广州51
(2．广东工业大学信息工程学院，广州510006)
摘要：在高精密度的IC晶片图像检测分析中，图像的实时采集和自动调焦是保证显微成像系统获得清晰图像的
关键技术。文中提出了一种基于嵌入式高速图像采集和自动图像聚焦判断的视觉检测嵌入式系统平台，在嵌入式
系统建立多任务机制实现图像采集，精密工作台控制以及自动调焦等过程的管理和任务调度。在图像采集中使用
嵌入式控制器、FPGA和彩色图像传感器为核心的图像采集与控制模式，对图像的清晰度的评价采用灰度梯度判断
函数，在调试过程中分别对均方差评价和灰度差评价的调焦过程的数据进行比较，经过分析使用灰度差聚焦评价
方法具有明显的单峰性，局部极值少，调焦误差最大为5um，满足IC晶片显微成像系统的要求。
关键词：Ic显微系统；嵌入式；图像采集；自动调焦；灰度差
Theautomaticfocus OfICwafer based
micro-image
system sampling
theembedded
on technology
Abstract：Inthe and forICwafer real-time and
highprecisely inspecting image，the sampling
analyzing
of isthe to focused this vision
focusingimagekeytechnologyguaranteeacquiringsharply image．Inpaper，a
the
embeddedbasedontheembedded andautomatic is
image
system high-speedimagesampling focusingjudgment
includesthe real-time the
offered，which multitaskingimagesampling，thepreciseplatformcontrol，and
andtask automaticfocus the of embedded
of
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