微波表面电阻TC90方案的测量精度实验分析.pdfVIP

第 卷 第 期 低 温 物 理 学 报 ! ! # $%’! (%’# !! !! !! !! !! 年 月 +,-(./.0123(4516517 8.9:.34823.:,;/-+/ ! !))# ** (%’ !))# 微波表面电阻 方案的测量精度 -#EF 实验分析 吉争鸣 吴培亨 许伟伟 孙国柱 郭大元 !! !! !! !! 南京大学电子科学与工程系!南京 !*))EG ! 由于超导薄膜的表面阻抗 这一参量对超导微波元件的设计和开发有很重要意义!测 B ! ! - 量超导薄膜的表面阻抗 也就非常重要 目前国际上制定了高温超导薄膜在微波波段上表 B ’ - 面阻抗 电特性的标准测量方案 # 此方案采用介质杆谐振器法测量表面阻抗的 B -.+ 8+E)’ - 原理!使用蓝宝石介质杆和超导膜组成的谐振器法测量超导膜的 本文分析了各个测量 B ’ - 量对标准测量方案的测量精度!分析了在 微波频率下!系统的各个实际部件的加工 *!J,[ 误差 认为频谱曲线的测量误差!即背景误差对最终测量结果 的影响是主要的 ’ B ’ - 关键词高温超导薄膜!表面电阻!测量误差 ! !## I#IG)6 *引 言 !! 测量误差是衡量一个测量系统和测量方法优劣的重要指标 分析和认识一个测量系统 ’ 和测量方法误差组成和形成的原因!对改进系统和测量方法!提高测量精度具有重要意义’ 目前国际上制定了高温超导薄膜在微波波段上表面阻抗电特性的标准测量方案 # -.+ 此方案采用介质杆谐振器法测量表面阻抗的原理!使用蓝宝石介质杆和超导膜组成 8+E)’ 的谐振器法测量超导膜的表面电阻$ % 该方案制定了误差指标为 本文分析了为满