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微测辐射热计微桥结构性能分析.pdf
第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5
2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct．2006
PerformanceofMicrobolometerStructure
Analysis Microbridge
LISu。，WU Shi—bin
Zhi—ruing，JANGYa—dong，YANGXiao-yu，LI
(School ElectronicScienceand 610054，China)
ofOptoelectronicInformation，Universityof TechnologyofChina，Chengdu
thecourseof a to
Abstract：In microbolometer，Itisthemostdifficult struc—
designing designmicrobridge
of
ture．Onthebasic and several structures，theof
analyzingcomparingpopularmicrobridge highquality
multi—levelstructurehasbeen out．Its ofstressissimulatedfiniteelement
point distributing by analysis
softwareinorderto theirfixedness．
compare
words：microbolometer；microbridgestructure；thermal element
Key parameter；finiteanalysis
EEAOC：7320R
微测辐射热计微桥结构性能分析
李 素”，吴志明，蒋亚东，杨晓瑜，李世彬
(电子科技大学光电信息学院，成都610054)
摘 要：微测辐射热计的设计难点是起支撑作用的微桥结构的设汁重点研究了现在流行的几种微桥结构，对其性能参数进
行分析比较，提出了多层结构的优点．并使用有限元分析软件对不同微桥进行结构分析，以比较其稳固性．
关键词i微测辐射热计；微桥结构；热参数；有限元
中图分类号：TN491 文献标识码：A
微测辐射热计是目前研究的热点，微桥结构是 去制作桥腿，从而微桥的占空比大幅下降，影响整个
其中的设计关键．目前流行的微桥结构主要有：Ho— 器件的性能．正是基于这一点，雷神公司研制出了
25／_tmX
neywell公司早期研制出的如图1(a)所示50／_￡m×
这种微桥采用新型多层结构，桥腿和桥面在两个不
SYSTEMS研
50／卫m的I形微桥结构[1]．随后BAE
同的相互平行的平面上，其桥腿长度大幅度提高，整
制出了46／．tmX46／1m的L形微桥结构[2]，如图1(b)
所示．微桥单元尺寸减小了，同时桥腿长度增加了， 个桥面作为
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