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振动膜外围采用边缘开槽的硅微电容传声器研究.pdfVIP

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  • 2017-03-21 发布于广东
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振动膜外围采用边缘开槽的硅微电容传声器研究.pdf

    振动膜外围采用边缘开槽的硅微电容传声器研究.pdf

    vol 5n2 第”卷第5期 声学技术 27，No 2008年10月Tkhni耐A∞嘴6嚣OcI，2008 振动膜外围采用边缘开槽的硅微电容传声器研究 马军，张晓辉，汪承灏，徐联，田静 (十目¨#＆，}日蜘．n自．1㈣) Condenser With Smcon Lacune-EdgeDiaphra舯 Micmph蚰e MAJun XUU蛆11AN Jbg ZHANO)【ia曲uiⅥⅫGChenghao (伽帆∞删㈣凸㈣e^枷珂＆肭端

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