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新型MEMS光开关的研究.pdf
第八届中国光电通信论坛会议论文集
EM
新型M S光开关的研究
王巍霓张名亮唐棣芳
(上海交通大学技术学院)
关的原理，结构与分类。并详细地讨论了几种最新型的MEMS光开关技术，同时分析比较了这
些元件的工作原理与应用上的优缺点。在论文的后面部分作者设计并分析了一种新型的硅基
PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动的光开关，并提供了一种新型硅基PTZ压电复合膜悬梁驱动光
开关的制作方法，希望能为新型光开关的研究和发展提供一定的理论依据和参考。
关键字：MEMS，新型光开关，PTZ，悬臂梁，微镜
ReserchofNew
MEM8 Switches
Optical
Weini
Wang ZhangMingliangTangDifang
of
(TechnoloyCollegeShanghaiJiaotongUniversity)
Abstract：Thefeaturesand ofMEMSare introduced
applications briefly
andthe andclassificationsofthe switches
principles，structures optical
basedonMOEMSareelaboratedinthis detailed
article．Meanwhile，the
and ofthe and
analysiscomparison
ofthe MEMS switchesare
disadvantagesnewly-made
optical
anovel
made．FurthermoreswitchactuatedPZT
optical by piezoelectric
cantileverbasedon
multiple-一layer siliconis intheendofthe
designed
whichthe of andthedetailed
paper，in waydesign manufacturingprocess
arealsodiscussedinordertobrazeanewtrailto therobustnessof
gain
theresearchin unknowMEMS switches．
creating optical
Key
words：MEMS，newoptical
1、引言
随着光纤通信技术的发展和密集波分复用(DWDM)系统的应用，全光交换已经
成为一种趋势，光开关是实现全光交换的关键器件，在全光网络中，利用光开关可以
实现全光层的路由选择、波长选择、光交叉连接以
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