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一种具有对称性和自校准的薄膜透反射率仪 　　摘要： 基于反射率测量原理，提出了一种具有对称性和自校准的薄膜透反射率测量仪器。仪器具有两个照明系统和两个光收集系统，并分别对称地置于样品台的两侧，测量时测量光线依次经过照明系统、样品和光收集系统。由于该设计具有对称性，因而可消去光学系统的不对称误差，而且可实现自校准功能，同时获得垂直入射情况下薄膜的反射、透射和光学损耗。 　　关键词： 透反射率仪； 光学薄膜； 对称系统；自校准 　　中图分类号： O484 文献标志码： A doi： 10.3969/j.issn.1005-5630.2016.03.015 　　文章编号： 1005-5630（2016）03-0267-05 　　Abstract： Based on the transmittance and reflectance measurement principle，we put forward a thin-film transmittance and reflectance measurement instrument design with symmetry and self-calibration property.Instrument has two light systems and two light collection systems，which are symmetrically set up on both sides of the sample stage.To measure the transmittance and reflectance of the film sample，the measured light passes through light system，sample and collection system，respectively.This symmetrical design can eliminate the asymmetry error of optical system，realize the function of self-calibration，and get transmittance，reflectance as well as optical loss of the film at normal incidence at the same time. 　　Keywords： transmittance and reflectance measurement instrument； optical thin-films； symmetry system； self-calibration 　　引 言 　　光学薄膜器件的透、反射率测量是极其重要的[1]。如果分光光度计能同时精确测量出光学薄膜器件的透射率和反射率，则薄膜器件的光学损耗（吸收和散射）就可根据能量守恒定律得到。遗憾的是反射率的测量远远没有透射率测量那样方便、成熟，一方面反射率测量缺乏像透射率测量那样成熟的技术和仪器，另一方面反射率测量精度远远达不到透射率测量能达到的精度[2]。反射率测量之所以如此困难，主要是因为：（1） 反射率测量常要用一个标准样品参比，因而引入了宽波段上标准样品的色差和标准样品反射率长期稳定的问题；（2） 反射测量光路变化非常灵敏，例如，当光线入射角变化φ时，反射角就会变化2φ，因此样品转动和移动的精度很容易导致光路发生变化；（3） 测量光学系统因松动、应变等原因导致其光路随时间的变化，或光学系统中光学元件因老化、灰尘等原因导致其性能下降，这些变化在透反射率测量[3]，特别是反射率测量中缺乏自动校准的判据；（4） 由于反射测量时光路安排的困难，反射率仪常设计成光线在一定入射角下测量反射率，如典型的“V-W”型反射率仪和“V-N”型反射率仪，这给测量带来了偏振像差对测量精度的影响，而且也无法满足诸如激光反射镜等器件测量光在垂直入射时反射率的需求。正因为这样，光学薄膜器件的透、反射率精确测量迄今仍是光度测量中的一个难题。 　　1 设计 　　如图1所示，具有对称性和自校准的薄膜透反射率仪包括样品台ST、两个照明系统、两个光收集系统、单色仪和光电系统。两个照明系统和两个光收集系统分别对称地置于所述样品台的两侧；每个照明系统包括光源、第一可移动挡板、反射棱镜、第一凹面镜和分束镜；每个光收集系统包括第一反射镜、第二凹面镜、第二可移动挡板和第二反射镜。 　　在其中一个照明系统中，光源L发射的光线在第一可移动档板S1开启的情况下（此时第一可移动挡板S1′关闭）先由反射棱镜P的其中一个反射面反射到第一凹面镜C1，再由第一凹面镜C1反射到反射棱镜P的另一个反射面，然后