功能陶瓷_敏感陶瓷技巧.ppt

* 氧分压高的一侧（阴极）发生以下化学反应： 而氧分压低的一侧（阴极）则发生以下化学反应： 从而发生氧离子从阴极向阳极的流动，因而形成化学势的差异，在固体电解质两侧产生了氧浓度电动势Φ 因此，在一侧通已知氧分压的气体，就可测得另一侧的氧分压。 * ZrO2系氧气敏感陶瓷巳获得许多方面的应用，如用于汽车氧传感器，以输出信号来调节空燃比为某固定值，起到净化排气和节能的作用。此外还用于钢液中含氧量的快速分析、工业废水污浊程度的测量等。 ZrO2-x与ZnO、SnO2、 γ-Fe2O3等气敏陶瓷不同的是，其载流子是离子而不是电子。 * 典型气敏陶瓷及其基本特性 * 4.2.4 湿敏陶瓷 湿敏陶瓷简介 湿敏陶瓷(humidity sensor)是对湿度敏感的半导体陶瓷。当半导体元件周围的湿度发生变化时，半导体陶瓷的电阻值随湿度的改变也相应地发生变化。因此，可以将湿度的变化转换为湿敏陶瓷电阻率的变化，并用电信号输出。 存在有两类湿敏陶瓷，一类湿敏陶瓷的电阻率随湿度的增加而下降，称为负特性湿敏陶瓷，如ZnO-Li2O-V2O5、SiO2-Na2O-V2O5等；另一类湿敏陶瓷的电阻率随湿度的增加而增加，称为正特性湿敏陶瓷，如Fe3O4等。 * 几种负特性湿敏半导瓷 Fe3O4半导瓷的正湿敏特性 * 与气敏陶瓷一样，由于起敏感作用的仅为材料的表面层，因而烧结型块状湿敏陶瓷多为多孔型的，孔隙率在30%～40%。除此以外，也使用薄膜或厚膜型湿敏元件。 用来衡量湿敏元件性能的主要指标有如下几个： 湿度量程：在规定的环境条件下，湿敏元件能够正常地测量的测湿范围称为湿度量程。测湿量程越宽，湿敏元件的使用价值越高。 灵敏度（湿敏度）：湿敏元件的灵敏度可用元件的输出量变化与输入量变化之比来表示。对于湿敏电阻器来说，常以相对湿度变化1% RH时电阻值变化的百分率表示，其单位为%/%RH。 * 响应时间：响应时间标志湿敏元件在湿敏变化时反应速率的快慢。其定义与其他敏感元件一样，定义元件电阻值达到恒定值90％的时间为响应时间。 响应时间与元件本身以及周围的环境有关。一般，薄膜或表面型元件的响应速度较体型元件的快，物理吸附机制比化学吸附机制的响应速度快。同时，吸湿过程较脱湿过程所需的时间少。 分辨率：指湿敏元件测湿时的分辨能力。以相对湿度表示，其单位为(%RH)。 温度系数：表示温度每变化l℃时．湿敏元件的阻值变化相当于多少%RH的变化，其单位为％RH／℃。 * 典型的湿敏半导体陶瓷 高温烧结型温敏陶瓷 这类陶瓷是在较高温度范围(900一1400℃)烧结的典型多孔陶瓷，气孔率高达30%～40%，具有良好的透湿性能。 目前比较常见的高温挠结型湿敏陶瓷是以尖晶石型的MgCr2O4和ZnCr2O4为主晶相系半导体陶瓷，以及新研究的羟基磷灰石[Ca10(PO4)6(OH)2]湿敏陶瓷。 * 高温烧结型湿敏陶瓷及其特性 * 低温烧结型温敏陶瓷 这一类湿敏陶瓷的特点是饶结温度较低(一般低于900℃)，烧结时固相反应不完全，烧结后收缩率很小。其典型材料有Si-Na2O-V2O5系和 ZnO-Li2O-V2O5系两类。 Si-Na2O-V2O5系湿敏陶瓷的主晶相是具有半导性的硅粉。大量游离的硅粉在烧结时由Na2O和V2O5助熔并粘结在一起，并不发生固、液相反应。 Si-Na-V系湿敏陶瓷的感湿机理是由于Na2O和V2O5吸附水分，使吸湿后硅粉粒间的电阻值显著降低。 Si-Na-V系湿敏元件的优点是温度稳定性较好，可在100℃下工作，阻值范围可调，工作寿命长。缺点是响应速度慢，有明显湿滞现象，只能用于湿度变化不剧烈的场合。 * ZnO-Li2O-V2O5湿敏陶瓷的主晶相为ZnO半导体。Li2O和V2O5作为助熔剂。烧结过程中坯体了发生显著的化学反应，相比于Si-Na-V系湿敏陶瓷，其烧结程度有较大提高。 在感湿过程中，水分子主要是表面附着，即使在晶粒间界上水分也不易渗入。因此水分的作用主要是使表层电阻下降而不是改变晶粒间的接触电阻或粒界电阻。 其响应速度较快，且易达到表层吸湿和脱湿平衡，其响应时间均在3～4min左右。湿滞现象大大减少，精度较高，可控制在±2％以下。由于感温过程中主要是表层电阻变化，故其阻值变化范围不大，有利于扩大湿度量程，其湿量范围可达20～98%RH左右。 * 湿敏陶瓷的感湿机理 对于湿敏陶瓷的感湿机理，目前尚缺乏一种能适合任何情况的理论来加以解秤，技常见的理论解释是粒界势垒论和质子导电论，前者适合于低湿情况(＜40% RH)，后者适合于高湿情况(＞40%RH)。 接触粒界势垒理论 N型和P型半