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用蘸水笔纳米光刻术制备CO2气体传感器.pdf
第十届全国化学传感器学术会议论文摘要集 E电化学传感器
E37用蘸水笔纳米光刻术制备C02气体传感器
龚成斌,唐倩‘,李向亮,马荣,常文斌
(西南大学化学化工学院,重庆,400715)
摘要:本文用光刻术在氧化硅表面制备间距为3um的电极,再用蘸水笔纳米光刻术将导电的掺杂聚吡咯转
移到两电极之间形成厚度上只有8rim的气体传感器.该传感器对co:有较高的检测灵敏度,当浓度为18ppmCO:
。
的响应时间只有9s,响应强度随CO:浓度增加而线性递增,有望作为c也气体传感器.
蘸水笔纳米光刻术(Dip—pen
研究小组提出的一种基于原子力显微镜的纳米技术。这种方法是将待沉积的物质涂布在原子力显
微镜的探针针头表面, 在针尖和合适的基材接触的过程中将针尖表面的物质直接沉积在基材表
面,通过控制原子力显微镜的探针的运动可形成特定形状的纳米结构[1],待沉积的物质可通过
自组装方式、静电相互作用、分子间暗码(如DNA)或官能基键连结等不同方法沉积在基材表面。
各种各样的材料,如生物分子[2,3],聚合物[4-7],有机盐[8,9],金属纳米簇[10],磁性材料
[11-12]以及有机材料[13]都被用来构建纳米结构。除了上述的沉积单组分材料外,蘸水笔纳米
光刻术还可沉积多组份混合物形成复合的纳米结构[14],了.M.Nam等用此方法成功构建出小至
12
nm的结构[15]。所得到的这些材料在蘸水笔纳米光刻术形成的纳米结构中保持其生物、化学、
光学活性,这说明蘸水笔纳米光刻术是一个很有潜力的纳米技术,它可用在构建微米和纳米生物
/气体/化学传感器和电子/光学器件等方面。
导电聚合物是一种导电的有机材料,主要由C,H和一些杂原子如N和S组成,其导电性
源自聚合物分子内的氕共轭电子。导电聚合物具有以下优点:重量轻,强度高,价格便宜。稳
定性好。导电聚合物的纳米结构有许多用途,如可用做纳米发光二极管,分子电子,各种传感器,
光/光一电纳米器件等等[16]。与其它的气体感应材料相比,导电聚合物具有稳定性好,选择性高,
灵敏度高及工作温度低等特点。因此它是做气体传感器的较好的选择。虽然有蘸水笔纳米光刻术
制备纳米导电聚合物的报道[17],但研究其作为纳米级的气体传感器的尚未见报道。本文以蘸水
笔纳米光刻术构建的纳米级掺杂的聚吡咯作为气体传感器,并研究其对C02的感应性能。
试验部分
P47,
5%掺杂聚吡咯水溶液从Aldrich购买。用作蘸水笔纳米光刻术的原子力显微镜为Solver
2000
的R(电阻)-t(时间)曲线用Keithiley
Meter/DC Source(HewlettPackard)测量。
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结果与讨论
160
第十届全国化学传感器学术会议论文摘要集 E电化学传感器
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