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真空下非金属材料放气模型与研究综述 SUMMARIZATION OF OUTGASSING MODEL AND RESEARCH DEVELOPMENT FOR NONMETAL MATERIALS IN VACUUM CONDITION 杨春光 肖尤明 陈楠 徐 烈 上海交通大学机械与动力工程学院 上海 200030 Tel: 021 E-mail:chunguang_yang@sjtu.edu.cn 摘 要 本文对物质在真空环境下的放气现象进行了探讨 总结了放气研究在工业领域的各种应用 分 析了真空环境下非金属材料放气的三种模型 Schram模型 扩散模型和基于马列夫理论吸附扩散模型 另外对近年来国内外对非金属材料放气的研究状况进行了概括 关键词 放气;模型;进展 绝热材料在真空环境下的放气性能进行研究 对 1引言 于高真空多层绝热有着重要的意义 任何固体材料在大气环境下都能溶解 吸附 3放气理论[2] 一些气体 当材料置于真空中时就会因溶解 解 吸而放气[1]研究材料在真空环境下的放气性能 材料出气的原因是材料内溶解气体解溶和表 通过对真空系统中材料的放气量 放气速率的测 面吸附的气体脱附 解溶往往是最主要的出气原 试 进而可以预测真空环境的寿命 运用四极质 因 材料的放气性能系指在一定条件 压力 温 谱仪测试真空下材料的放气成分 可以有针对性 地在真空系统中放置吸气剂和干燥剂 克服真空 度 时间 下 离开材料的净气体量及其组分 环境随着时间的延长由于材料的放气而导致真空 包括放气总量及组分分量 在任何真空系统中有 度降低的不足 从而提高真空环境的稳定性[2] 如下抽气动态平衡 放气模型对材料的放气性能进行量化有重要的指 dp 导意义 本文对三种放气模型进行了分析并对目 pS Q V dt 前材料的放气研究进展进行了归纳 式中 为真空度 Pa S 为系统的抽气 2放气研究的应用 p 目前放气研究主要集中于以下几个方面[3] 速度 L / s V 为真空室体积 L Q 为各 研究电工产品在真空环境中的放气性能 通过真 种气体源的放气速率 Pa L / s 空处理工艺提高其质量和使用寿命 在真空状态 而系统的极限真空度由下式确定 下 最大限度地去除在真空环境中使用的材料所 含有的气体和水分 然后经过净化处理 按有关 Q0 标准检验合格的浸渍剂在真空状态下灌注浸渍 p j p 0 S 以提高其耐压等级和使用寿命 在电真空器件中 p 有时有些部件在真空下要释放出对阴极有害的气 式中 p 真空室所能达到的极限真空 Pa j 体 影响产品的寿命和使用效果 对这些电真空 器件