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真空中冲击电压下半导体沿面闪络特性.pdf
中困电机工程学会高压专业委员会高电压新技术学组2006年学术年会
真空中冲击电压下半导体沿面闪络特性
郑楠,张冠军,赵文彬,马奎
(西安交通大学电气工程学院,西安710049)
CharacteristicsofSemiconductorUnderPulsed inVacuum
Voltage
Kui
ZhengNan,ZhaoWenbin,ZhangGuanjun,Ma
(SchoolofElectrical 710049)
Engineering,Xi’anJiaotongUniversity,Xi’an
Abstract:Theexcellent ofsemiconductor
performance
materialhasbeen muchattentionsinceitcomesout。
paid
Semiconductordevices tothedirectionof
graduallydevelop 度并提高PCSS的效率,应尽量减小光导半导体的
and ResearchOn
highervoltage power. hi【gh-field
几何长度。从理论上讲,半导体开关可以一直工作
materialto its
characteristicsofsemiconductor
helpsenlarge 到其半导体材料的本征击穿场强,如硅约为
field.Basedontheconcurrentmeasurementof
application
300kV/cm,而实际上这在很大程度上受硅的沿面闪
andelectrical surfacefiashover
optical signals,the phenomena
71。
across siliconare under
investigated
semiconducting impulse
invacuum.Thecharacteristicsofflashoverare 由于半导体的沿面闪络主要是脉冲功率领域
voltage general
found.Itisconfirmedthatthereis a 中存在的问题,对其进行的研究主要是在冲击电压
gasdesorptionduring
flashover electrodecontactmannerhas
event.ItiSrevealedthat 下。目前国内对这一研究的报道尚不多见。Peterkin
obviousinfluenceonflashover andalsothesurface
phenomena 等人认为真空中的半导体沿面闪络与绝缘材料有
condition affectstheflashovercharacteristicsof
significantly 着很大的不同:对于绝缘材料,沿面闪络沿其表面
SjIicon.
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