扫描探针显微学中的云纹方法.pdfVIP

第 卷第 期 年 月 物 理 学 报 5 !$ $$’ !$ ， ， ， O;U+5 K;+!$ -@G;VLN $$’ （ ） !$$$ ’4$ C $$’ C 5 !$ C 5! $2 0S/0 ),T(JS0 (JKJS0 $$’ S7?A+ )7F+ (;@+ 扫描探针显微学中的云纹方法! ） ） ） ） ） ） ! ! ! ! # 郭海明 刘虹雯 王业亮 谢惠民 戴福隆 高鸿钧 !）（中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室，北京 !$$$%$） ）（清华大学工程力学系，北京 !$$$%） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$’ % $$’ 在扫描探针显微镜（ ）的扫描过程中，由 的扫描线与物质表面周期性晶格结构进行干涉可以形成纳米 ()* ()* 云纹图像 采用高取向热解石墨（ ）和云母作为试件，分别对扫描隧道显微镜（ ）和原子力显微镜（ ）云 + ,-). (/* 01* 纹进行了研究，实验结果与理论分析完全一致+ ()* 纳米云纹法在纳米测量和表征方面具有较大的应用前景+ 关键词：云纹， ，晶格栅线，纳米测量 ()* ： ， ， ， !## 2!!2) $334 5, 2!3$6 件栅的频率和扫描线的频率相互匹配，从而两者干 涉形成 纳米云纹 本文对 纳米云纹的形成 !B 引 言 ()* + ()* 原理进行了分析和探讨，实验验证了形成()* 纳米 基于光学莫尔干涉效应的云纹方法已经发展成 云纹的可行性和真实性，最后提出并讨论了()* 云 为一种成熟的变形测量技术，随着光刻技术的发展 纹在纳米测量和表面变形缺陷研究中的作用+ 和制栅工艺的不断革新，其测量灵敏度已获得了巨 ［— ］ 大的提高 ! ’ + 由全息光栅技术制作的试件栅频率 B 实 验 达到5$$$ 线C DD ，测量灵敏度可达$B$ D，使得云 ! ［］ 纹法成功地应用于材料的细观变形研究中 + 上世 (/* 的云纹实验是采用高取向热解石墨 ［］ （ ）的表面单晶晶格结构作为试件栅来完成的 纪 年代初期， 等5 提出了电子束云纹 ,-). + 4$ E?F7;D;G; 在大