扫描近场红外显微镜光纤探针的腐蚀制法.pdfVIP

第 50 在第 12 期 2001 年 12 月 物理学报 Vo 1.50 ,No .12 ,Decembe,,2oo1 1000-32帕I~朋IIS0( 12)12322-05 ACTA PHYSICA SINICA 古)200 1Chin. Phy.. soc 扫描近场红外显微镜光纤探针的腐蚀制法传 张立源李永贵王潜 (中间斜学院高能物础研究所自刷l 肚子酣光棋院室 Jth? !c刷刷) (2001 年 1 月 23 日收到，2∞1 守 7 )J 14 日收到睡政摘) 虹外光楝针是扫描近场红外Jií!.微镜(SNIM) 中的关键部件，由于探针的神类和1 材料不同，制作的万法也小l司 般制作光纤书在针布两种方法，P~各位伸法和化学腐蚀法这!I\叙述丁~种化学腐蚀方法1 介绍了怎么去除硝锚暗中 红外tt纤的聚酸胶衰Iil和硫化雨先!苔，以及;r，~腐蚀成针尖状的具体li lt. 和凶极，JP1短锥针探针串IJ It.进行 f楝 索量最后附此书草针在近场范阴内探测 r就化嫁样品的肉 f封电子激Jt(Ff:l.)反射谱 关键询:扫描探针显微镜(SPM) ， il? 场红外扫描ii2微镜(SNIM) ，光纤探H PACC: 07ωP，口779 ， 6116P 针和l 备相比， -, 1i 睡íli革命中红外波段(2.5ι251，m) 光纤种型号太少.判翩方面现有的红外光纤都比较脆， 引言 继展性和梁韧性很兹，而且化学性质比较稳定为降 低光衰减，制成商质盘生I:9~光纤踩针是比较闲难的 以拘捕隧道显微镜(STM) 为代淡的扫描探针显 微镜( 5cannì盯g probe !!lí croSCQPy ，缩均为 SPM) 的 tll 事.网外 些研究 SNIM 地方1E探头为由Q 采用 r 其 现.给Jií!.微技术带来了革命性的发展[j ， 1) 和成用r 3 ,4] 他方式的光探钊嘲如日本的Kawata 等1 1 发展的球状 棱镜掠针，德阔的 Fischer 等事)研制的探钊阳ilíll丰探 自 20 j世纪 90 年代以来，在 SPM 技术的基础 t发展 针，以及最il? Knoll 等11 和j 则半号子体(如被)簸合物制 起来一种扫描近场光学显微镜(8cann?ng ne田协field 成的无孔徽射探针等.上这微探针的Ji$_ 对于我们 叩tical oúcroscopy ，缩写为自NOM) .SNOM 的显著特点 来说是不太可行，~目为要求的制作1:1::水平1 商.需 是突破ft学m射极限限制，可以得到肉分辨率的光 要专门的设备，义由于我们的 SNIM 设计逃抹了反 学图像它通常以…个纳米最级的微探针(如光纤探 射模式.最终采用光纤鳞针的方巢， 针)为梳头.并应用 SPM 中的诸多技术，如微区定 在做探针研制过军盟中，要考虑下丽两方丽:一方 位，逐点扫描，图形处理等技术，{E J丘场泡网内(通常 菌，必须使光探树的通光小孔尽 oJ 能小，另…方阂， 是一个波长悦目司以内) ，利用探头获取