扫描隧道显微镜扫描模式研究.pdfVIP

天津大学学报 第 卷 第 期 年 月 $5 $ ’%%2 N UVWX14YVZ0[41U[1 W1[\]X8[0^ \FC_$5 1F_$ 9‘ ’%%2 扫描隧道显微镜扫描模式研究! 傅 星 魏小雷 胡小唐 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 # $%%%’( 摘 要 在对扫描隧道显微镜模式研究的基础上 首次提出 符合扫描 模式 不但从理论上消 ) * + 除了原有扫描模式带来的测量误差 而且还使测量速度提高了 这种模式可以应用于几 %,- 乎所有扫描探针显微镜仪器的 轴反馈控制 对原子量级信息读取速度和精度的提高具有 . 重要意义 - 关键词 扫描隧道显微镜 扫描探针显微镜 扫描模式 符合扫描 ) / / / 中图分类号) 23 文献标识码) 文章编号)%56$7’2$#’%%2(%$7%$237%$ 01 4 扫描隧道显微镜 # 相对平坦的部分扫描速度提高到 据称 809 :;===?@A==BC=?D;EF ’ 2% - KL KL 根据检测方式的不同 可以分为恒高法检测和 这种技术在维持陡峭样品表面适当的测量精度的同 ( :;FGB 恒流法检测H2I 恒高法仅适用于相对平滑的样品表 时 还使扫描速度有了较大提高 - - 面 恒流法可以高精度地测量不规则的表面 在实际 现有的恒流法扫描模式有两个缺点 一是当扫描 - ) 应用中 被测样品表面形貌是未知的 一般来说在样 器扫到某点时 即使隧道电流等于电流设定值 扫描器 - 品表面的凸 凹变化超过 时 如果要保证探针 还是要等待一个固定的时间后再进行下一点的扫描 J 2%=D 不与凸起部分碰撞 那么 在凹陷的部位就形成不了隧 这是使扫描时间增加的原因 二是当扫描器扫到某点 / 道电流 这就基本限制了恒高法的应用 因此恒流法 时 如果隧道电流不等于电流设定值 扫描器在等待一