LDS激光打标机的振镜扫描失真分析及矫正.pdfVIP

M缸.2015 2015 年3 月 机床与液压 第43 卷第5 期 MACHINE TOOL HYDRAUUCS Vol. 43 No.5 DOI : 10.3969/j. issn. 1001-3881. 2015. 05. 014 LDS 激光打标机的振镜扫描失真分析及矫正 谢永迅，麦烨伟，非土建铭，龙泉 (深圳大学机电与控制工程学院，广东深圳 518060) 摘要: LDS (Laser Direct Structuring) 激光打标机的振镜扫描系统存在失真问题，从而造成动态聚焦误差。 对激光振镜 扫描系统失真问题进行了详细理论分析，建立了该振镜扫描系统的数学模型，讨论了振镜动态聚焦误差来源和误差表现， 提出了 LDS 振镜扫描系统误差矫正方法，通过实验验证了该方法的可行性。 关键词: LDS; 激光振镜;动态聚焦;误差分析;误差矫正 中圈分类号: TN249 文献标志码:A 文章编号: 1001-388 1 (2015) 5- 053-4 Error Analysis and Correction of Laser Marking System Galvanometer Scanning XIE Yon萨un ， MA I- Zhuowei , DU Jianming , LONG Quan ( College of Mechatronics and Control Engineering , Shenzhen University , Shenzhen Guangdong 518060 , China) Abstract: Distortion exist in galvanometer scanning system of LDS (Laser Direct Structuring) laser marking system. And this . problem may result in dynamic focus eπor. In this paper , the theoretical analysis of laser galvanometer system was presented. The math- ematical model was estab!ished and solved as well. According to the analysis r臼ults ， the cause and the performance of dynamic focus error are discussed.ηle corresponding error correction method is proposed. And this method is veri!ied by experiment. Key words: LDS; Laser galvanometer; dynamic focus; Error analysis; Error correction 激光打标是利用适当能量密度、会聚在工件表 转镜 面的激光光束对目标表面扫描，使材料发生物理或 化学变化，在表面上形成痕迹，从而形成标记的过 程{叫。 从 1995 年到 2003 年短短 8 年间，激光打标 领域就经历了大幅面时代、转镜时代和振镜时 代( 2-3) 。振镜扫描式打标系统主要由激光器、 XY 偏 转镜、聚焦透镜、计算机等构成。振镜式激光扫描系 统通常需要辅以合造的聚焦系统才能工作的，根据