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J I A N G S U U N I V E R S I T Y 本 科 课 程 设 计 说 明 书 光学测试技术应用课程设计 题目： 激光差动共焦法检测透镜中心厚度的设计 学院名称： 机械工程学院 专业班级： 光信息1102 学生姓名： 蒋光平 指导教师姓名： 姚红兵 2014年6月 光学测试技术应用课程设计任务书 题目：激光差动共焦法检测透镜中心厚度装置的设计 内容： 课程设计说明书 设计附图与说明 学院名称： 机械工程学院 专业班级： 光信息1102 学生姓名： 蒋光平 指导教师姓名： 姚红兵 2014 年 6 月 课程设计详细内容： 非接触镜片中心厚度检测技术基础的阐述 检测装置的设计（可以考虑干涉法和共焦法原理） 系统元件的选择 检测系统的阐述 目录 一：课程设计说明 1 二：工作原理图 1 三：透镜中心厚度计算 3 四：检测系统结构的设计 5 五：系统软件设计 6 一：课程设计说明 我选用的是差动共焦法检测透镜中心厚度的一起设计。现在用的是接触式检测方法和非接触式检测方法两种，接触式检测主要有两大致命性缺点：一是划伤透镜，破坏透镜表面的光洁度；二是测头与透镜频繁接触会因磨损而影响测量精确度。非接触式测量的可以很好的克服了这两种缺点，既保护透镜不被划伤有不会磨损测量仪。差动共焦法主要是利用被测透镜上下表面反射回来的光谱信息来检测透镜厚度，实际中很难准确获得被测透镜在不同波长下的折射率，一般在测定被测透镜在几个特定波长的折射率基础上通过插值获得测量所用光谱的折射率，测量误差较大。 为此，基于差动共焦探测技术，研制了一种全新的非接触透镜中心厚度测量系统，该系统借助差动共焦定焦技术灵敏度高、轴向分辨能力高和抗干扰能力强的特点提高了定位瞄准精度，克服了传统测量方法的缺点，提高了非接触式测量的精度。 二：工作原理图 如下图：该系统利用差动共焦轴向光强响应绝对零点精确对应标准透镜焦点这一特性，对被测透镜的前表面顶点A 和后表面顶点B 分别进行精密瞄准定位，并由2 次定位得到的差动共焦轴向强度响应特性曲线IA( z) 和IB( z) 分别求取过零点坐标Za和Zb，然后通过光线追迹算法计算透镜中心厚度。 图（1）测量原理图 测量时，激光器发出光源经过准直镜后形成平行光束,准直镜出射的平行光经标准透镜后形成测量光束，并会聚于标准透镜的焦点处; 被测透镜沿光轴方向移动，当测量光束会聚点与被测透镜前表面顶点A 或者后表面顶点B 重合时，测量光束由被测透镜表面反射沿原路返回，偏振分光镜将光束反射至分束镜，经分束镜分束的2 束测量光分别被位于其后的数字显微镜1 和2接收，其中数字显微镜1 和2 的物方平面与准直镜焦平面的偏移量分别为+ M 与－ M; 然后利用虚拟针孔算法计算艾利斑中心的强度值，得到归一化信号I1( u，+ uM)和I2( u，－ uM) ，此时两路信号的差动响应I( u，uM)满足: I（u,uM）=I1(u,+uM) I2(u,-uM)= 式中：u= 为轴向归一化光学坐标，z 为轴向坐标，D/f 为标准透镜的相对孔径。 由图和上式知差动共焦响应曲线I( u，uM) 的过零点精确对应标准透镜焦点，并且过零点附近的线性度和灵敏度最好。在后续的数据处理中，可以对曲线的线性区进行线性拟合，以精确求取过零点进一步提高了被测透镜前、后表面顶点的定位灵敏度与抗干扰能力。 三：透镜中心厚度计算 令被测透镜两次定位移动的距离为L，由图1 有L = 。设被测透镜前表面曲率半径为r，标准透镜出射的测量光束的会聚角为U，测量光束进入被测透镜后的会聚角为U，光束进入被测透镜前表面的入射角为I，折射角为I，空气的折射率为n，透镜的折射率为n，下面将分情况讨论透镜中心厚度的光线追迹算法。 当被测透镜前表面为球面( 即曲率半径r ≠ ∞)时，标准透镜出射的测量光束会聚点对被测透镜前后表面顶点的定位如图2 所示。 图（2）前表面为球面时的测量光路 有单球面的光线追迹公式： 可得被测透镜中心厚度： d== 式中： 2) 当被测透镜前表面为平面( 即曲率半径r = ∞ )时，标准透镜出射的测量光束会聚点对被测透镜前后表面顶点的