超声扫描检测技术在半导体行业中的应用磁.pdfVIP

Vol ．４３ No ．１ １２４ 计算机与数字工程 Computer Digital Engineering 总第 ３０３期 ２０１５年第 １期 超声扫描检测技术在半导体行业中的应用 磁 潘凌宇 张 吉 （湖北航天技术研究院计量测试技术研究所 孝感 ４３２０００） 摘 要 超声扫描检测技术应用越来越广泛 ，半导体 、材料和生物医学等方面均利用了超声扫描技术 。论文主要对超 声扫描检测技术在半导体行业中的应用进行了简单的介绍 ，同时介绍了塑封微电路的超声扫描检测标准 ，并提供了一些数 据以及建议作为参考 。 关键词 超声扫描 ；半导体 ；缺陷 ；塑封微电路 ；分层 中图分类号 TN３０５ ．９７ DOI ：１０ ．３９６９／j ．issn１６７２‐９７２２ ．２０１５ ．０１ ．０３３ Application of Acoustic Scanning Technology in Semiconductor Industry PAN Lingyu ZHANG Ji （The Metrology and Measurement Institute of Hubei Space Academy ，Xiaogan ４３２０００） Abstract With the widespread application of acoustic scanning technology ，semiconductor industry ，material science and biological medical all adopt acoustic scanning technology ．In this paper ，the application of acoustic scanning technology in semiconductor industry is introduced ．At the same time ，acoustic scanning standards about PEM are described ．At last ， some informations and records are provided for reference ． Key Words acoustic scanning ，semiconductor ，defect ，PEM ，delamination Class Number TN３０５ ．９７ １ 引言 超声扫描检测技术是应用最广泛的无损检测 方法之一［１］ 。超声扫描检测技术利用进入被检样 品的超声波对材料表面或内部缺陷进行检测 。 超 声扫描检测系统不仅能检测分层 、气孔 、裂缝和夹 杂等缺陷 ，而且在判别密度差异 、弹性模量 、厚度等 特性和几何形状的变化方面也具有一定的能力 。 在半导体领域内 ，可以用于检测半导体材料内部多 种缺陷 ：裂纹 、分层 、夹杂物 、附着物 、空隙等 ；通过 图像对比度可以判别材料内部声阻抗差异 、确定缺 陷形状和尺寸 、确定缺陷方位［２］ 。本文主要讲述超 声扫描检测技术在半导体中的应用 。 ２ 超声扫描检测技术 超声扫描检测的工作原理 ：脉冲发生器产生信 号脉冲 ，激励压电传感器 ，由传感器产生特定频率 的超声波 ，经由耦合介质（如去离子水）传播到达样 品 。超声波在传播过程中需要均匀而连续的介质 ， 因此在遇到不同介质时 ，将发生反射 。空洞 、分层 、 裂纹等不连续界面都会干扰超声信号传播或导致 超声信号发生反射 。传感器发射出超声波 ，同时也 对界面反射回的超声波进行接收 ，经信号处理 ，最 后得到一张高分辨率的超声波图像 ，而图像包含样 品超声扫描检测层面各点信息 。通过图像 ，最后对 所关注区域进行判断 。 超声扫描检测的方式主要以透射扫描和反射 扫描为主 。 透射扫描是一种基本的检测方式 ，发射和接收 的传感器分别位于样品上下两侧 ，超声波通过样品 到达接收传感器 ，和 X 射线检测相似 ，使用超声波 透射检测可快速观察到样品内部的缺陷 ，而且容易 操作 ，但是无法对缺陷的尺寸和位置进行测试 ，只 能确定缺陷的存在与否 。 透射扫描中超声波透过 磁 收稿日期 ：２０１４年 ７月 １０日 ，修回日期 ：２０１４年 ８月 ２７日 作者简介 ：潘凌宇 ，男 ，工程师 ，研究方向 ：电子元器件可靠性 。张吉 ，男 ，工程师 ，研究方向 ：电子元器件可靠性 。 ２０１５年第 １期 计算机与数字工程 １２５ 样品全部厚度 ，这种操作模式提供的是该部件全部 的投影图像 。因为超声波不能通过空气隙（分层 ， 裂纹或空洞） ，信号的阻断在图像上看就是黑色的 区域 ，因此对某些缺陷会漏判 ，一般使用较少［３］ 。 而反射模式下 ，某些材料的声阻抗在界面处与