声表面波与器件的制作.docVIP

第二章 声表面波与器件制作 本章中，我们主要介绍声表面波(SAW)的基本特性和基本类型，压电基片的选择，叉指换能器(IDTs)的特征以及声表面波器件的制作方法。 压电效应是指在晶体上施加压力时产生电势差的现象。压电晶体在外力的作用下发生形变时，某些表面会出现异号电荷，而在压电晶体上加一电场时，晶体不仅产生极化，而且会产生应变和应力。压电材料的几何应变与施加电场成比例。从1880年居里兄弟发现压电效应以来，压电学已经成为现代科学技术中的一个非常重要的领域。而作为压电学发展的一个重要分支，在二十世纪六十年代中期美国的怀特等人提出用叉指换能器在压电基片上激励和检测声表面波的方法之后，声表面波器件的研究得到了很大的发展。 2.2 SAW的介绍 横波速度 （2.1） 纵波速度 （2.2） 各向同性材料的弹性常数，称为拉密常数；是材料密度。从式子中可以看到，横波通常要比纵波慢。 在各向异性固体材料如压电晶体中，质点振动方向和声波传播方向的关系并非如此简单。一般来说，质点振动方向既不垂直也不平行于声波传播方向，而是有三个互相垂直的偏振方式。其中偏振方向较为接近传播方向的波称为“准纵波”，两个偏振方向较为接近垂直于传播方向的偏振波称之为“准横波”。这三种波的速度各不相同，其中准纵波速度最快，而两个准横波的速度比较慢，其中较快的一个称为“准快横波”，较慢的一个称为“准慢横波”。同时波前的法线方向亦即波的相速度方向与波的能流方向并不一定相同，如图1.1所示。n为波前的法线方向rL、rs1、rs2分别为准纵波、准快横波、准慢横波的能流方向。一般来讲这三束波不共平面、OL、OS1、OS2正比于三者相速度[1].。 图2.1 各向异性固体中声波的传播 另外，对于压电晶体，由于受到压电效应影响，在声波的传播过程中，会有一个电势一同传播，使声波的速度变快，称之为“速度劲化”。 当声波传播到固体边界时，受到固体边界条件限制就会产生声表面波。声表面波的主要类型包括瑞利波（Rayleigh 波）、拉姆波(Love 波)、B-G波、掠面体波等等。其中Rayleigh波是绝大部分声表面波器件采用的声波模式，并且本论文中研究的声表面波类型也主要是这种Rayleigh波。以下我们要对各种声表面波其做一些简要介绍，并着重对Rayleigh波的知识进行介绍。 2.3固体中的声波 2.3.1瑞利波（Rayleigh波） Rayleigh[2]，瑞利波速度在非压电各向同性固体中可由以下方程的解得到：。 （2.3） 其中，； υs是横波波速，υL是纵波波速，是材料的弹性常数，其可能值在0~0.5之间，解此方程可得的取值在0.87~0.96之间。由此可以得到Rayleigh波的两个性质：一是Rayleigh波速度与频率没有关系，即Rayleigh波是非色散波；二是Rayleigh波速度比横波要慢。 另外Rayleigh波质点运动是一种椭圆偏振，在各向异性固体表面，它是由垂直于固体表面及传播方向的横振动和平行于传播方向的纵振动两者合成得到的。这两种振动相位差90(，故质点是做逆时针方向的椭圆振动，并且振幅随离表面的深度增加而衰减。其中纵振动与横振动的衰减并不一致，如图。从图中可以发现一下几个特点： 图2.2各向同性固体中，瑞利波质点运动随深度的变化深度处，振幅衰减为零，在此深度只剩下横振动。过此深度之后，纵波反相，此时质点做顺时针方向的椭圆振动。 （2）不管是纵振动还是横振动，其振幅随深度增加很快衰减。能流的传播平行于传播方向，但随深度的增加很快衰减。故Rayleigh波能量集中在约一个波长深度的表层内，并且频率越高，波长越短，集中能量的层也就越薄，因此与体波相比声表面波更容易获得高声强。 图2.3各向同性固体中横振动与纵振动的分量随深度变化 ξx3) (2.4) 其中, ξ=βs 式中ξ是瑞利波在介质的衰减常数；是瑞利波的波数，xc=ξ-1中瑞利波在介质中的深度。 图2.4 瑞利波示意图 在各向异性晶体中，Rayleigh波基本保持了各向同性材料中的特性：相速与频率无关，其速度比同方向上的体波要慢，波的能量限制在靠近固体表面，质点的位移随深度增加衰减。此外，它还具有一些独特的性质： （1）Rayleigh波的相速依赖于传播方向。 （2）除了在纯波方向上，其他方向的能流一般不平行于传播方向。 （