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- 2017-04-06 发布于湖北
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实验一 用双管显微镜测量表面粗糙度
一、实验目的
1. 熟悉表面粗糙度的主要评定参数;
2. 掌握表面粗糙的常用测量方法。
二、测量原理及仪器说明
双管显微镜是根据“光切法原理”制成的光学仪器,一般用它测量表面不平度高度Rz。其测量范围取决于选用的物镜放大倍数。通常适合于测量Rz=0.8~80μm的表面粗糙度(有时也可用来测量零件刻线的槽深等)。
仪器的主要性能如表1所列。仪器外形及各部分功能见图1及其说明。利用光切法测量表面粗糙度的原理如图2所示。
表1
物镜放大倍数N 7× 14× 30× 60× 视场直径(mm) 2.5 1.3 0.6 0.3 测量范围Rz(μm) 80~10 20~3.2 6.3~1.6 3.2~0.8 目镜套筒分度值(μm) 1.26 0.63 0.294 0.145
光线经狭缝形成一条扁平的带状光束,以45°的角度投射到被测表面上,有如一平面以45°方向与被测表面相切一样[图2(b)]。由于被测表面并非理想平面,因此截面与被测表面的交线应出现凹凸不平的轮廓线。在另-45°方向观察,就可以见到该轮廓线的影像,此凹凸不平即反映被测表面的不平度,其不平度见图2(a)所示。
或者
式中-为45°方向上的影像高度。
影像高度是用目镜测微器来测量的,由于测微器的十字刻线与测微器读数方向成,所以,当用十
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