基于压电扫描管动态特性分析的AFM成像方法研究.pdfVIP

高技术通讯 2008 年 1 月第 18 卷第 1期 基于压电扫描管动态特性分析的 AFM 成像方法研究① 黄晓坤@方勇纯@周娴均 张玉东 (南开大学信息技术科学学院机器人研究所 天津细刀171) 摘要针对原子力显微镜(AFM)在高速扫描下成像误是大的缺点，提出了一种基于压 电扫描管动态特性的前进成像方法，并对这种成像方法的性能进行了理论分析和实验验 证o 分析和实验结果表明，该成像方法可以较好地处理压电扫描管的动态特性，有效地提 高 AFM 在 Z 方向上的成像精度，因此得到的扫描图像能够更加真实地反映样品的形貌。 关键问 原子力显微镜，成像技术，压电扫描管，动态特性 。引 原子力显微镜(AFM) ，因不受被观测样品材料 导电性的限制耐得到了广泛应用[1-3] 。其基本工作 原理是使用末端带有探针的微悬臂在被探测样品表 即逐行进行拘捕，然后对扫描得到的信号进行处理 获得样品表面的形貌信息[MJO 但是，目前的 AFM 只能在较低的扫描速度下实现纳米级的测盘精皮， 所以必须对 AFM 进行改进后才能扩展其应用[5-7] 。 提高 AFM 扫描速度的方法主要有 3 种:在 Z 方向上 使用具有更高共振频率的压电陶臣，通过缩短响应 时间来提高扫描速度[8]; 采用集成了执行器的微悬 臂阵列来扫描样品，通过一种类似于并行处理的方 式来缩短对样品的扫描时间[9];采用更为合理的控 制策略和成像方法来提高扫描速度和成像精度[W] ο 前两种方法需要利用特殊器件来实现，因此成本高， 设计复杂，很难在实际系统中得到应用。 通过分析 A川的基本组成结构及其各部件的 特性可知，压电扫描器的动态特性是限制 AFM 扫描 速度与精度的主要原因之一[11]。对于现有的 AFM 而言，成像时一般不考虑压电扫描管的动态特性，而 是将其作为稳态数掘进行处理来获取样品的表团形 貌。所以，这种成像方法只有在低速扫描时才能得 到较为可靠的测量数据。而对于高速扫描而霄，由 于探针在各个扫描点上停留的时间很短，因此在扫 描过程中，服电扫描管无法达到稳定状态，此时如果 忽略压电扫描器的动态特性将严重地影响 AFM 的 测最性能。基于这种考虑，本文针对 AFM 的高速扫 描模式，提出了一种基于压电扫描管动态特性分析 的成像方法，并从理论上对这种成像方法的性能进 行了分析，最后利用实验数据验证了该成像方法的 优良性能。 影响成像精度的另一个重要因素是压电扫描臂 的迟捕特性，其在 X 、 Y方向上的定位误差也会使因 像发生畸变。为更好体现动态特性成像方法的忧越 性，本文的分析过程都是基于压电扫描管在 X 、 Y 方 向的迟滞非线性得到有效补偿[12]的基础上进行的。 1 AFM 成像原理及其改进方法 1.1 现有成像方法的主要缺陷分析 对于当前的 AFM 系统而宫，通常是在比例积 分(阳)闭环控制的基础上，使用压电陶资在 Z 方向 的输入信号 u 与光斑的反馈信号 u 来对样品表面成 像，一般采用如下静态的线性成像方法: h = k ? (土 u + v/k制阳) (1) 其中 ， h 为样品表丽的形貌高度 ， u 是为了在但力模 式下使探针跟踪样品表面所需要的压电陶瓷的输人 信号，其iE负极性由 AFM 在 Z 方向上的执行器结 构决定:~执行器在扫描管上时为负，若集成在微，悬 臂上则为匠，本课题选用的 AFM 属于前者 ; v 是光 斑的反馈信号，将它作为修正项，可以在一定程度上 弥补扫描速度过快时的控制误差 ; k则为系统开环 时从输入 u 到输出 u 的灵敏度系数 ; k 为压电陶资 方向上的伸缩系数，这两个系数可以通过析、定 预先得到。 由于电陶瓷的响应速度比做悬臂探针系统的 3T家制学慕金(:mM津市刷刷研究计划州刊.JX154ω)和新世纪优秀人才支持计划州时唰)资助项目。 !F.l， 1984 年生，硕士组 沂究方向 t 陈子力M.微镜控制技术;联系人， E-mail: dOl耶k@咄吼 nank吼叫.U. CIl 通讯作者 .E-mail: yf叫@时眈翩翩. edu. CII (收稿日期:则7峭峭) - 54 一 麓晓坤等:基于压电扫描管动态特性分析的 AFM 成像方法研究 响应速度慢很多，所以压电执行器的功态特性是限 制高速拍描成像的主要原因。此外，当扫描速度高 于压电陶器的响应速度时，扫描过程中陶资管将无 法达到稳态过程，此时采用上述线性成像方法就无 法正确地反映样品 Z 方向上的真实形貌。 1.2 AFM成像系统中的信号分析 在高速扫描时，压电陶瓷实际上处于暂态过搜 阶段。因此，如果在成像过程中考虑压电陶瓷的动 态特性，利用其 Z 方向上的动态模础 G1 ( S) 来计算 其真实形变量，则可以更加准确地表达样品的形貌 信息。 1.2.1 探针·样