扫描透射离子显微成像系统的建立和实验研究.pdfVIP

第 20 卷第 2 期 2008 年 2 月 强激光与粒子束 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS 文章编号: 1001-4322(2008)02-0313-06 Vo l. 20 ,No. 2 Feb. ,2008 扫描透射离子显微成像系统的建立和实验研究 刘江峰13 ， 包良满 1·2 ， 岳伟生13 ， 万天敏1 ，2 ， 李晓林1 ， 张桂林l ， 李 燕 1 (1.中国科学院上海应用物理研究所，上海 201800 ， 2. 中国科学院研究生院，北京 100049) 摘 要: 基于上海应用物理研究所的扫描质子微探针系统，对扫描透射离子显微成像(STIM)技术进行 了仿真分析和实验研究，建立了基于中值滤波方法的数据处理程序.获得了大鼠股骨切片的面密度分布和薄壁 小球的离轴 STIM 图像.理论分析和实验结果显示 z由在轴探测数据的中值滤波结果可以计算出定量的面密 度分布信息，由能量窗滤波的离轴探测数据则可以给出高分辨的定性图像，这在薄样品、强束流、以及质子激发 X荧光(PIXE)分析同时进行的 STIM分析中尤为有用;增加获取的事件数、选择合适的滤波方法可以便测量 误差远小于阻止本领计算带来的误差.该方法可以用于测量几十 μm 尺度样品的绝对质量以及辅助 PIXE 技 术进行元素定量分布分析. 关键词: 扫描透射离子显微术 s 扫描质子微探针， 中值滤波 s 束流探测 中图分类号: TL503 文献标识码: A 扫描透射离子显微成像学(STIM)是 20 世纪末首先在扫描质子微探针(SPM)系统上发展起来的一种核 分析方法[11 ，宫是利用 MeV 级能量的质子束穿过样品后的能量损失计算出样品的面密度，利用多参量数据 获取系统，采集每个事件的能量及扫描位置信号，可获取样品的面密度分布图像。该技术作为一种辅助的离子 微束分析方法已经在核探针系统上得到广泛应用，目前已达到 30 nm 的空间分辨率由，并可获得 μm 尺度样品 的 3 维结构图像∞.由于 STIM 研究工作主要在基于小型静电加速器的微柬线站上开展，目前尝试使用的离 T主要为质子、He+离子及 Alpha 离子[叫。 MeV 级能量的 He+及 Alpha 离子对薄样品(nm 量级到 μm 量级〉 有较高的测量灵敏度，但在相同的加速电压作用下，质子有更大的射程，可分析样品的尺度较用荷质比小的离 子时大，实验上对样品的操控难度相对较低，所以被广泛采用。 人射质子与样品的相互作用主要表现为 z质子与靶原子的核外电子的非弹性碰撞、质子与靶原子核的弹性 碰撞，由此产生靶物质对入射质子的电子阻止本领和核阻止本领.在人射质子能量大于 500 keV 时，核阻止本 领一般比电子阻止本领小 3 个数量级[SU计算中可以忽略核阻止本领，所以对于 MeV 级能量的质子，样品的阻 止本领主要由电子阻止本领决定。由于每个透射质子都携带了其所穿越区域的样品面密度信息， 0。附近透射 质子分布集中，探测效率高，所以 STIM 分析需要的束流强度小(10- 15 A) ，相对于质子激发 X 荧光(PIXE) 分析和卢瑟福背散射(RBS)分析，对样品的损伤可以忽略，是一种较理想无损分析手段. 中国科学院上海应用物理研究所和复旦大学的 SPM 研究小组早在 20 世纪 90 年代就对 STIM 进行了调 研m和计算机模拟阻，本文介绍了在上海应用物理研究所的 SPM 系统上进行 STIM 实验研究的初步结果。 1 探测方案 在 STIM 实验中为实现透射离子的探测，一般用 Au(Si) ， PIPS 或 Pin 等半导体探测器，理想的探测角为 00，但因高度聚焦的束流对探测器的局部损伤严重[91 ，同时造成事件的堆积而增加测量的不确定度，所以在无 法获得稳定的 fA 级(10- 15 A)束流的实验条件下，选择合造的探测方案就尤为重要.针对不同的靶室条件， STIM 实验有图 1 所示的三种探测方案，分别称为在轴、离轴和在/离轴探测[叫。在轴探测是直接将探测器放- 在样品后正对束流人射的 0。角方向获取透射质子的能谱;离轴方案则是在偏离束流轴线一小角度进行探测 F 在/离轴探测方案是在样品后方的束流轴线上放置-个限流孔及单元素薄膜(如碳膜，厚约 0.2μm)[lO] ，用于 阻挡偏离束流轴线较大角度的散射质子，同时将近轴质子散射到非零度角的探测位置。据束流强度调节探测 的夹角(探测角) ，实现在微束 PIXE 分析的同时探测 STIM 数据。 ·收稿日期: 2007-07-02 , 修订日期 :2007-12-26 基金项目:中国科学院知识创新工程项目 (KJCX3. SYW. N3) I 国家自然科学基金重大项目( 作者简介 :~