扩散教材版.docVIP

第四章 扩散 第一节、扩散简介 1.1工序位置 1.2 扩散目的：形成PN结即在P型衬底上扩散N型杂质磷形成PN结，达到合适的掺杂浓度和方块电阻。 1.3 PN结：如果在纯净的硅晶体中掺入少量的5价杂质磷，由于磷原子具有5个价电子，所以1个磷原子同相邻的4个硅原子结成共价键时，还多余1个价电子，这个价电子很容易挣脱磷原子核的吸引而变成自由电子。 所以一个掺入5价杂质的4价半导体，就成了电子导电类型的半导体，也称为n型半导体。同样如果在纯净的硅晶体中掺入3价杂质，如硼，这些3价杂质原子的最外层只有3个价电子，当它与相邻的硅原子形成共价键时，还缺少1个价电子，因而在一个共价键上要出现一个空穴，因此掺入3价杂质的4价半导体，也称为p型半导体。 对于p型半导体，空穴是多数载流子，而电子为少数载流子。若将p型半导体和n型半导体两者紧密结合，联成一体时，由导电类型相反的两块半导体之间的过渡区域，称为 p-n 结。 1.4扩散原理：扩散就是在P型硅片中掺入磷原子形成N型半导体，从而形成PN结反应方程式：POCl3在高温下分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5） 有氧气的存在时，POCl3热分解 POCl3+O2=P2O5+Cl2 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子 第二节、扩散设备工艺简介 2.1扩散设备： 2.1.1内部构成：德国Centrotherm公司的管式扩散炉。①CMI-Loading box ②带有TGA的抽排系统 ③tube heating and control ④Gas cabinet 。 2.1.2扩散基本操作： ①检查“Slider”是否在上料位置，若不在，手动状态下移到上料处：“Manual/Slider/to port”。 ②把插好硅片的舟放到“slider”上。尽量使舟在“slider”中间位置。 ③在“Setup”界面选择“Boat”项，选择一个舟号，进行工艺信息编辑。 ④选择确定后，进入“boat activation”界面，点选“Set boat active for handling”、 “Set boat to ‘Ready for processing’和‘Boat will be removed for unload’”复选框,再点击“Next”按钮。 ⑤进入“Handling information”界面，把舟上的编号输入到“Boat ID”一栏，同时选择Load position为“Slider”，再点击“Next”按钮。 ⑥进入“Process tube selection”界面，选择需运行工艺的管号，在正常情况下1-4管全部选中，再点击“Next”按钮。 ⑦进入“Boat information”界面， 在Actual boat location位置选择“Slider”，在Boat state位置选择“Wait for tube”，再点击“Next”按钮。 ⑧进入“Process information”界面，选择相应的运行工艺名，在“Lots in boat”中输入相关舟的信息，再点击“Finish”按钮 ⑨进入“Summary”界面，显示8步输入的信息，核对无误后，点击“OK”，信息输入完成。 ⑩在“Job”页面点击 “Run” 按钮，回到自动运行状态。机械手自动送舟到SiC桨上，开始运行工艺。 2.1.3常见设备报警处理： ⑴ 生产人员正确设置信息点击运行后，机械手运行到store1位置不动作，且没有报警信息： ① 进入system-handling界面，查看paddle、tube状态是否正确。 ② 进入相应的system-tube界面，查看position、SLS、TGA状态是否正确。 ⑵ 退舟失败： ① 入相应的system-tube界面，依次点击service-recovery-handling，观察桨是否动作，并将桨的设定位置设为零位。 ② 动作，一定要注意观察石英舟是否全部在桨上，完全退出后不要自动运行，手动将舟取下。 ③ 仍旧不动作，呼叫设备人员。 ⑶ 机械手不动作： ① 进入system-handling界面，查看机械手是否在零位，机械手不再零位，进入设备权限对机械手进行复位。 ② 复位后仍不动作，呼叫设备人员。 ⑷ 酸排热排报警： ① 进入SYSTEM-CMS界面，查看酸排和热排值，调节酸排、热排阀门，使其恢复到正常范围 ② 若酸排或热排报警时示数为零，呼叫设备人员，并由其联系外围。 ⑸ 方阻过大，且工艺运行过程中无报警： ① 查看磷源瓶是否打开及有无磷源。 ② 若磷源正常，报修设备人员。 2.2扩散工艺： 2.2.1扩散工艺流程 2.2.2影响扩散工艺的因素 ① 温区的温度：