精密位移检测系统讲述.ppt

通过熟悉激光高精度位移传感器，了解使用激光传感器检测的一般原理和使用条件，掌握各种位移传感器的量程、精度等检测性能。 任务二 高精度激光位移传感器 知识目标 通过实践操作和检测，初步认识激光式位移传感器及其检测适应性，进一步理解工业中常用的位移检测特点及位移传感器的基本选用原则。 技能目标 任务二 高精度激光位移传感器 激光三角法：利用激光源发射一束激光照射到被测物体的表面时, 通过漫反射后在光学检测器件上成像, 根据其像点位置的变化和检测系统的结构参数可求出被测点的位移信息。精度可达0.01微米水平。 知识链接 任务二 高精度激光位移传感器 图像传感器CCD：CCD作为移位寄存器，每个光敏元通常是一个MOS电容。在光照射下，光生少数载流子在光敏元中积聚，光敏元接受光照后，各光敏元所积蓄的电荷并行地转移到CCD读出寄存器上。 一、图像传感器 任务二 高精度激光位移传感器 固态图形传感器具有小型、轻便、响应快稳和定性好等优点，已经得到了广泛的应用。其主要用途如下。 （1）用于物位、尺寸、形状以及工件损伤检测。 （2）作为光学量信息处理的输入环节，如图像识别、文字识别、工业摄像机等。 （3）用作自动生产过程的控制敏感元件。 任务二 高精度激光位移传感器 基于三角检测原理的激光位移传感器采用激光作为光源投射一个亮点或者直线条纹到被测物体表面，经物体反射的激光通过接收器镜头，被内部的CCD线型相机接收，根据不同的距离，CCD线型相机可以在不同的角度下“看见”这个光点，根据这个角度及已知的激光和相机之间的距离，数字信号处理器就能计算出传感器和被测物体之间的距离。 二、激光传感器三角法测距 任务二 高精度激光位移传感器 图3-18为激光三角法检测的原理图。当被测物体的表面位置从位置O移动到位置A时，位移变化量为l，反射光线在光电接收器上的像点相应地从O′点移动到A′点，位移变化量为s，则 式中，s为像点的位移（m）；d为透镜的物距（m），即OM；d′为透镜的相距（m），即O′M；θ为入射光与成像透镜中心轴的夹角，即∠AOM；θ′为光电接收器与成像透镜中心轴的夹角,即∠A′O′M。 任务二 高精度激光位移传感器 高精度激光传感器一般将检测电路和激光器以及CCD元器件集成封装，成为一个整体式的检测传感器，如图3-19所示，可以有模拟量和数字量接口直接连接于数字控制设备或者分析仪器、数据采集卡中。这些传感器普遍精度可以超过0.1 μm，某些传感器如optoNCDT的2200高精度系列可以达到0.007 5 μm的深亚微米级别。 任务二 高精度激光位移传感器 实训目标 通过激光高精度位移传感器和滑台装置检测一个物体的高度差，如图3-20所示，通过装配调试传感器和检测图中有0.5 mm左右高度差的金属板，深入了解激光高精度位移传感器的传感特性与应用规程。 实训二 高精度激光位移传感器检测物体高度差 实训二 高精度激光位移传感器检测物体高度差 实训二 高精度激光位移传感器检测物体高度差 实训二 高精度激光位移传感器检测物体高度差 操作步骤 实训二 高精度激光位移传感器检测物体高度差 （1）首先搭建检测系统 （3）检测测量板的高度差 （2）装配检测平台 （4）使用螺旋千分尺测量不等高测量板的实际差距，对比记录值，将实际差距与数显表头显示数值差相除得到转换系数。 实训二 高精度激光位移传感器检测物体高度差 思考与练习 1.请设想一下如果将位移传感器作为检测物体表面粗糙度的仪器，使用电感式位移传感器检测物体表面，对于检测头需要什么要求，可根据表面粗糙度的国家标准进行检测设计。 2.高精度激光位移传感器的检测是非接触的，请思考能否使用激光位移传感器作为检测物体表面粗糙度的传感器。 思考与练习 思考与练习 3.在工业批量生产中有很多项目需要连续检测，要求检测速度能跟得上流水线生产的速度。请思考并论述：在高速度检测过程中，使用激光位移传感器和电感高精度位移传感器在原理上是否可行。 思考与练习 目录 随着技术的发展，制造工业的精度已经达到了亚微米级别，很多机械零件的精度早已超过亚微米而达到几十个纳米，如高精度定位轴承和光学透镜，电子电路在工业中，超大规模集成电路的制造精度已经达到几个纳米。 精密位移检测系统 制造精度的提高是现代工业的基础，而在亚微米级别的制造中，利用高精度微小位移检测。 高精度位移传感器的特点：量程小，精度高，高稳定性。 精密位移检测系统 精度在亚微米级别的检测工业上往往采用比较方法，即首先使用标准件作为检测基准依据，然后利用高精度微小位移检测其中的误差级别。 精密位移检测系统 通过熟悉各种高精度位移传感器，了解位移传感器检测的一般原理和使用条件，掌握各种位移传感器的量程和精度等检测性能。 任务一 高精度位移传感器的应用 知识目标 通过实践