飞秒脉冲的激光损伤及微加工.pdfVIP

!# 飞秒脉冲的激光损伤及微加工 刘 青 !$ % $ 程光华 % $ 陈国夫 % !’ 宁夏大学 物理电气信息学院，宁夏 银川 ()**%! ； %’ 中国科学院西安光机所 瞬态光学国家重点实验室，陕西 西安 (!**# + 摘 要：飞秒激光脉冲是对光学物质进行各种处理的最有效的工具 ’ 飞秒激光脉冲与光学物质的相互作用具有较 低的激光损伤阈值、有限的热作用范围和高的加工精度等优点 ’ 文章讨论了超短脉冲激光导致物质损伤和消融的 物理机理，对短脉冲和长脉冲的消融机理进行了对比，介绍了飞秒脉冲产生的啁啾脉冲放大（ ,-. ）技术；飞秒 脉冲激光在逐位式光数据存储、对光学物质进行微加工和制作光子元件 如波导等 +的应用实验 ’ 总结了对飞秒脉 冲激光在光学物质相互作用中的应用前景 ’ 关键词：飞秒脉冲；微加工；超快光学；消融 中图分类号： /01( 文献标志码： . 近几年，飞秒脉冲激光在物质微加工中的应用 受到了广泛的关注 2 ! 3 1 4 ’ 由于飞秒脉冲激光的脉冲 宽度极短，很容易达到极高的峰值功率 ’ 例如，当脉 冲能量为 !* !5 、脉冲宽度为 !** 67 的激光脉冲紧聚 焦到直径为 % !8 的位点上时，激光束的峰值强度可 以达到 !* !) 9 : ;8 % ’ 如果要使一个 !* 7 的脉冲达 到同样的强度，需要 !** 5 的单脉冲能量 ’ 由于作用 时间和光强的差别，飞秒脉冲与物质的相互作用机 理与长脉冲有很大的不同 ’ 短的脉冲宽度意味着激 光与物质发生相互作用的时间很短，在此时间内物 质的流体力学移动可以忽略，不考虑液体的流动 ’ 飞秒脉冲激光作为对物质进行处理的工具，具 有非接触，导致的热作用区域小、速度快和精密度高 等优点，被广泛应用于物质的消融、钻孔、切割、焊接 加工等方面 ’ 用来对物质进行微加工的激光系统 有： ,/ % 激光器， =? @.A 激光器，受激准分子激光 器等 ’ 这些激光器可以产生出从连续光直到几十飞 秒甚至更短脉宽的激光脉冲 ’ 啁啾脉冲放大技术 （ ,-. ）使得激光脉冲可以达到宽度很短、强度很高 的地步，从而用来对物质进行处理 ’ 根据超短脉冲 与物质的相互作用特点，超短脉冲激光是对物质进 行精密消融微加工的最有效的工具之一 ’ ! 飞秒激光脉冲的光损伤和消融 要在物质内部产生光损伤或消融，首先要使物 质大量吸收激光能量，导致激光束聚焦点处的物质 被加热到熔化或气化温度 ’ 金属、半导体和透明绝 缘体（如玻璃、塑料）等物质对激光能量的吸收机理 各不相同 ’ 物质对激光的吸收机理主要依赖于激光 强度和脉冲宽度 ’ 对于非透明物质，长脉宽、低能量 激光的相互作用以线性吸收为主；而高强度超短脉 冲以非线性吸收为主 ’ 对于透明体来说，能量的吸 收主要来自导致光损伤的非线性过程 ’ 透明介质首先变成能大量吸收光能量的等离子 体，通过等离子体对激光能量的吸收，导致物质加 热，最后物理介质发生不可逆的损伤 ’ 由于激光系 统的输出能量受到激光对光学器件光损伤的限制， 三十多年来，对激光导致的损伤研究一直具有很重 要的地位 ’ 导致透明物质产生光损伤的非线性过程 主要是雪崩电离和多光子电离等 ’ ! +在透明绝缘体中，束缚电子的电离能比激光 光子能量高，物质不能线性地吸收激光能量 ’ 在激 光强度较低时，束缚电子也不能通过非线性光过程 吸收激光能量 ’ 然而，在实际物质内总是存在一些 自由电子，可以作为雪崩电离的“种子电子” ’ 这些 文章编号： !#(! 3 (%00 %**1 + *% 3 *!# 3 *1 收稿日期： %**1 3 *! 3 *# 基金项目：中国科学院创新基金资助项目 作者简介：刘 青（ !B#% 3 ），男，博士生，副教授，研究成果意义及学科分类 ’ 宁 夏 工 程 技 术 =CDECF GDCHHICD JH;KLMLDN %**1 年 # 月 5O’ %**1 第 % 卷第 % 期 PLM’ % =L’ % !# “种子电子”主要来源于物质的不纯性 $ 当一个自由 电子在激光场中作简单的振动时，不能在一个振动 周期中吸收激光能量 $ 只有当自由电子与束缚电子 或晶格发生碰撞时，才可以吸收激光能量，此过程称 为“逆向忍致辐射” $ 种子电子通过逆向忍致辐射， 可以使其动能超过束缚电子的电离势能，这种自由 电子与分子的碰撞将导致分子发生碰撞电离，出现 两个低动能的自由电子 $ 这种过程的重复发生，将 导致自由电子密度以指数的方式增加，形成自由电 子的雪崩电离 $ 当自由电子密度达到“临界密度” 时，将大量吸收激光能量，物质将变得不再是透明 的 $ 对于纳秒或更长的激光脉冲来说，临界密度约 为 !% ! ’ ( )；对于更短的激光脉冲，等离子体的临界 密