洁净区环境监测规程程序.docxVIP

洁净区环境检测规程 1目的 规定洁净区的控制指标和检测方法，有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度，满足生产和检测环境的要求。 2范围 本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。 3职责 化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。 4.工作程序 4.1检验项目 温度、湿度、压差、风速（换气次数）、尘埃粒子数、菌落数。 4.2温度、湿度 4.2.1要求 洁净区温度（18-28）℃，相对湿度（45-65）% 4.2.2仪器与设备 温湿度计 温湿度计必须在检定合格周期内 4.2.3操作方法 目测温湿度计 4.2.4测定频次 1次/班 4.3压差 4.3.1要求 洁净室与室外压差≥10Pa，洁净室与非洁净室≥5Pa，不同级别洁净室之间≥5Pa。 4.3.2仪器与设备 微压计 微压差计或手持式数显压差计须在检定合格周期内。 4.3.3操作方法 用微压计或数显压差计测试各室的静压力，由两室静压力之差，为静压差。 4.3.4测定频次 1次/月 4.4换气次数/风速 4.4.1要求如表1所示： 表1各级别洁净区风速的技术指标 级别 100级 10000级 100000级 300000级 风速 m/s 水平层流 ≥0.4 —— —— —— 垂直层流 ≥0.3 换气次数 次/h —— ≥25 ≥15 ≥12 4.4.2仪器与设备 风速计 风速计必须在检定合格周期内。 4.4.3操作方法 4.4.3