基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪.pdfVIP

第 27 卷第 2 期 2 0 0 1 年 3 月 光 学 技 术 OPTICAL TEC~NI UE Vol. 27 No. 2 ===================================================================== March 2001 文章编号 2 1002-1582( 2001D 02-0150-03 基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪 何永辉1 9 蒋剑峰2 9 赵万生3 ( 1. 上海宝钢股份有限公司 研究院设备所 9 上海 201900; 2. 上海交通大学 电子信息学院 9 上海 200030D ( 3. 哈尔滨工业大学 特种加工研究所 9 黑龙江 哈尔滨 150001D 摘 要 2 在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 9 介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及 三维轮廓仪测量系统的构成 O 通过给出的几个测量实例 9 反映了该三维轮廓仪的主要特点 9 适合于大范围 ~ 高精度 ~ 阶梯 面的测量 O 最后分析了影响其测量精度的主要因素 O 关 键 词 2 表面三维微观形貌测量 ; 白光干涉 ; 扫描白光干涉法 ; 三维轮廓仪 中图分类号 2 T~ 744. 3 文献标识码 2 A S1rf ace 3 D prof iler baSed on Scanning white light interf erometry method HE Yong hu i 1 9 J I ANG Ji an feng 2 9 ZHAO Wan Sheng 3 ( 1. Baosteel Research Institute 9 Shanghai 2019009 China D ( 2. Shanghai Jiaotong UniVersity 9 Shanghai 2000309 China D ( 3. ~arb in Institute of Technology 9 ~arb in 1500019 China D AbStract 2 On the base of emphasiZing the importance of sur face 3 D topography measurement 9 this paper introduces the pr inciple of scanning White light inter ferometry method and presents the constitution of sur face 3 D prof iler s measuring system . NeXt 9 seVeral measuring eXamples are presented to eXplain the main characteristics of the prof iler 9 namely 9 adapting to the measurement of large - scale 9 high precision and discontinuous sur face . Finally 9 the main factors Which inf luence the precision are analyZed . Key wordS 2 sur face 3 D micro topography measurement ; White light inter ference ; scanning White light inter ferometry ; 3 D prof iler 1 表面三维微观形貌测量 在生产中 9 表面三维微观形貌对工程零件的许多 技术性能的评价具有最直接的影响 9 而且表面三维评 定参数由于能更全面 ~ 更真实地反映零件表面的特征 及衡量表面的质量而越来越受到重视 9 因此表面三维 微观形貌的测量就越显重要 O 通过对三维形貌的测量 可以比较全面地评定表面质量的优劣 9 进而确认加工 方法的好坏及设计要求的合理性 9 这样就可以反过来 通过指导加工 ~ 优化加工工艺以加工出高质量的表面 9 确保零件使用功能的实现 O 表面三维微观形貌的测量方法非常丰富 9 通常可 分为接触式和非接触式两种 9 其中以非接触式测量方 法为主 O 下面介绍其中一种近年来国际上研究比较多 的 ~ 发展也相对比较成熟的技术 2 扫描白光干涉法测量 表面三维微观形貌技术 O 2 扫描白光干涉测量法及其测量原理 扫描白光干涉法是相对比较新的一种非接触式表 面三维形貌测量方法 9 虽然白光干涉的应用已有比较 悠久的历史 9 但第一个实际采用白光干涉原理进行测 量的自动三维表面形貌测量系统直到 1980 年才由 B