委托单维护.doc

PAGE  PAGE 22  申請單流程設定手冊 Document Sequence：  DOCPROPERTY Category \* MERGEFORMAT ARES-CIM-0905003 System Version：  DOCPROPERTY Keywords \* MERGEFORMAT 1.0.0 Release Date：  COMMENTS \* Upper \* MERGEFORMAT 2009/05/10 Notices Copyrights 2004 ARES， Inc. All Rights Reserved. 本文件內容已登記有著作權之保護，若非經資通電腦同意，禁止以任何方式抄寫或是引用。 為資通電腦註冊之商標。 Microsoft， MS， MS-DOS， Microsoft Visual Studio .Net are trademarks of Microsoft Corporation. 文件修改履歷 發行/修訂版次發行/修訂生效日期發行與變更說明備註1.002009/05/10created申請單流程設定  TOC \o 1-3 \h \z \u  HYPERLINK \l _Toc230520952 1. 申請單狀態  PAGEREF _Toc230520952 \h 1  HYPERLINK \l _Toc230520953 2. 申請單查詢  PAGEREF _Toc230520953 \h 2  HYPERLINK \l _Toc230520954 3. 申請單內容  PAGEREF _Toc230520954 \h 4  HYPERLINK \l _Toc230520955 4. 製程設定  PAGEREF _Toc230520955 \h 6  HYPERLINK \l _Toc230520956 5. 流程設定  PAGEREF _Toc230520956 \h 8  HYPERLINK \l _Toc230520957 5.1 新增製程步驟  PAGEREF _Toc230520957 \h 9  HYPERLINK \l _Toc230520958 5.2 特殊製程參數  PAGEREF _Toc230520958 \h 11  HYPERLINK \l _Toc230520959 5.3 製程內容編修  PAGEREF _Toc230520959 \h 12  HYPERLINK \l _Toc230520960 5.4 刪除製程  PAGEREF _Toc230520960 \h 13  HYPERLINK \l _Toc230520961 5.5 清除流程  PAGEREF _Toc230520961 \h 13  HYPERLINK \l _Toc230520962 5.6 製程限制條件  PAGEREF _Toc230520962 \h 14  HYPERLINK \l _Toc230520963 5.7 送審、列印Runcard  PAGEREF _Toc230520963 \h 15  HYPERLINK \l _Toc230520964 6. 申請單下線後內容變更  PAGEREF _Toc230520964 \h 16  HYPERLINK \l _Toc230520965 6.1 製程插入與刪除說明  PAGEREF _Toc230520965 \h 16  HYPERLINK \l _Toc230520966 6.2 加入、取出Wafer  PAGEREF _Toc230520966 \h 17  HYPERLINK \l _Toc230520967 7. 各種實驗狀況設定方法說明  PAGEREF _Toc230520967 \h 18  HYPERLINK \l _Toc230520968 7.1 Wafer分開做兩種以上不同製程實驗  PAGEREF _Toc230520968 \h 18  HYPERLINK \l _Toc230520969 7.2 相同製程，不需設定製程參數  PAGEREF _Toc230520969 \h 18  HYPERLINK \l _Toc23052