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带透明电极可变形反射镜的研制.pdf
光 电 子 · 激 光
第 卷 第 期 年 月
17 7 2006 7 Jour nal of Opt oelect ronics Laser Vol .17 No .7 Jul .2006
带透明电极可变形反射镜的研制% %
向 东1 !2 陈海清1 王青玲3 陈家凤1
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华中科技大学光电工程系 湖北 武汉 中国地质大学数学与物理学院 湖北 武汉
1 . 430074 2 . 430074
中国地质大学地球物理与空间信息学院 湖北 武汉
3 . 430074
摘要 提出了基于微电子机械系统 技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜 给出了透
ME MS
明电极 超薄镜面和驱动电极的制作工艺及其工作特性 静态测试结果表明 带透明电极的可变形反射
镜驱动电压低 最大变形量可达 有效反射面积可达 2 能很好地改善整个自适应系统的
19 H m 200 mm
性能
关键词 自适应光学 变形镜 静电驱动 微机械可变形反射镜 微电子机械系统
MMDM ME MS
中图分类号 + 文献标识码 文章编号
!TP211 .6 !A !1005-0086 2006 07-0849-05
Fabrication of Def or mable Mirror wit h Transparent Electrode
XI ANG Dong 1 2 % CHEN Hai-Ci ng 1 WANG Gi ng-li ng 3 CHEN Ji a-f eng 1
1 . 0 pt oelectronics Engi neeri ng Depart ment Huazhong Uni versit y of Sci ence Technol ogy Wuhan
430074 Chi na 2 . Instit uti on of Mat he matics Physics Chi na Uni versit y of Geosci ences Wuhan
430074 Chi na 3 .Instit uti on of Geophysics and Geo matics Inf or mati on Chi na Uni versit y of Geosci ences
Wuhan 430074 Chi na
Abstract A novel def or mabl e mi rr
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